MEMS IMU器件选型参考表(部分)
MEMS IMU器件选型参考表(部分)
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主流 IMU 厂商器件IMU 参数、单位以及对应的含义器件属性陀螺仪 (Gyroscopes)加速度计 (Accelerometers)器件对比TDK InvenSense(应美盛):器件属性陀螺仪 (Gyroscopes)加速度计 (Accelerometers)ST(意法半导体):器件属性陀螺仪 (Gyroscopes)加速度计 (Accelerometers)Bosch(博世):器件属性陀螺仪 (Gyroscopes)加速度计 (Accelerometers)ADI:器件属性陀螺仪 (Gyroscopes)加速度计 (Accelerometers)NXP:器件属性加速度计 (Accelerometers)Honeywell:器件属性陀螺仪 (Gyroscopes)加速度计 (Accelerometers)QST(上海矽睿):器件属性陀螺仪 (Gyroscopes)加速度计 (Accelerometers)StarNeto(星网宇达):器件属性陀螺仪 (Gyroscopes)加速度计 (Accelerometers)典型器件规格(PDF Datasheet)TDK InvenSense(应美盛):ST(意法半导体):Bosch(博世):ADI:NXP:Honeywell:QST(上海矽睿):器件规格总表参考内容
主流 IMU 厂商器件
选型要素:
- 器件的用途,如消费级飞控、工业级飞控、手持设备、体感交互设备等。
- 器件的性能,相关参数。
- 器件的应用市场,发展迭代。
- TDK InvenSense:
MEMS 加速度计,角速度计,磁力计,六轴/九轴厂商,有广泛使用的 IMU MPU6050,6500,9250,价位中等(也有更贵的高性能的 ICM 系列)
产品选型链接:SmartMotion® | TDK
- ST(意法半导体):
MEMS 加速度计,角速度计以及六轴厂商,主要为智能手机市场提供 IMU,例如有 LSM6DS3TR,价位偏低
- Bosch(博世):
MEMS 加速度计,角速度计,磁力计,六轴/九轴厂商,主要为机器人和无人机市场提供 IMU,六轴传感器的有 BMI 系列,价位偏高
- ADI:
老牌半导体公司,有加速度计和六轴,主要用于汽车和军事领域,性能最高但价位也是极高。当然也有低端的加速计 ADXL35x 系列
- NXP:
MEMS 加速度计,角速度计,磁力计,六轴/九轴厂商,主要为工业界提供高可靠性的 IMU 器件,这里选择分立式加速度计器件
- Honeywell:
MEMS 加速度计,角速度计,磁力计,六轴厂商,主要应用于航空航天、国防、工业领域
- QST(上海矽睿):
磁力计,加速度计以及六轴的国产厂商,有 QMI8658/QMI8610 等六轴传感器
IMU 参数、单位以及对应的含义
注:这里以 ADIS16465 器件的 Datasheet 作为例子,案例参考:ADIS16465 (Rev. C) (analog.com)
器件属性
- 传感器类型:
分立器件或者是集成器件类型,支持的测量轴数。
- 工作温度:°C
器件正常工作的温度范围。
- 封装尺寸:mm³
常见器件的封装尺寸有 QFP、QFN、LGA、BGA 等。
- 输入电压 VDD:V
器件正常工作的电压范围。
陀螺仪 (Gyroscopes)
- 动态量程 (dynamic range):°/sec
陀螺仪的角速度动态量程。
- 灵敏度 (sensitivity):LSB/°/sec
陀螺仪的最大角速度取样精度。
- 敏感度温漂 (sensitivity error over temperature/ sensitivity temperature drift):%
敏感度随温度的改变,通常用百分比或者 FS/K(满刻度每度)。
- 标度因数非线性 (Nonlinearity):% FS
陀螺仪的输出量和输入角速率之间的比值,用于表征陀螺实际输入与输出的偏离程度,决定拟合数据的可信度。
- 零偏重复性 (bias repeatability):°/sec
是指在同样条件下及规定时间间隔内,重复测量陀螺零偏之间的一致程度,以各次测试得到的零偏的标准差表示。
- 零偏稳定性 (bias stability):°/hr
主要针对角速度计的参数,代表零偏在较长时间下的随机游走。
- 角度随机游走误差 (bias angular random walk):°/√hr
陀螺仪的角度的随机噪声。即陀螺仪从零时刻起累积的总角增量误差表现为随机游走。
- 温度漂移系数 (zero-rate offset change over temperature/ bias error over temperature):°/sec
零偏随温度改变的大小,越小代表陀螺仪的零偏随温度影响越小。
- 线性加速度敏感系数 (linear acceleration effect):°/sec/g
在任何方向上加速度计对于陀螺仪数据的影响。
- 输出噪声 (output noise):°/sec rms
陀螺仪的输出噪声。
- 速率噪声密度 (rate noise density):°/sec/√Hz rms
代表输出噪声与带宽的关系,直观的说就是影响对真实信号的辨识程度。(RMS:Root Mean Square 均方根)
换算关系:output noise=RMS Noise=Spectral Density/√filtergun*BW (BW:带宽, filter gain: 滤波器的增益,RMS: root mean square 均方根)
- 3dB 带宽 (3 dB bandwidth):Hz
半功率点系统带宽。需要参考手册中的寄存器说明。
- 陀螺仪最大输出频率 (max. effective gyro output frequency):Hz
陀螺仪的最大采样频率。
- 传感器谐振频率 (sensor resonant frequency):Hz
陀螺仪的第一阶固有频率。
加速度计 (Accelerometers)
- 动态量程 (dynamic range):g
加速度计的加速度动态量程。
- 灵敏度 (sensitivity):LSB/g
加速度计的加速度取样精度。
- 敏感度温漂 (sensitivity error over temperature/ sensitivity temperature drift):%
敏感度随温度的改变,通常用百分比或者 FS/K(满刻度每度)。
- 标度因数非线性 (Nonlinearity):% FS
加速度计的输出值和输入加速度之间的比值,用于表征加速度计实际输入与输出的偏离程度,决定拟合数据的可信度。
- 零偏重复性 (bias repeatability):mg 或 m/sec2
是指在同样条件下及规定时间间隔内,重复测量加速度计零偏之间的一致程度,以各次测试得到的零偏的标准差表示。
- 零偏稳定性 (bias stability):μg 或 m/sec2
主要针对角速度计的参数,代表零偏在较长时间下的随机游走。
- 速率随机游走误差 (bias velocity random walk):m/sec/√hr
加速度计的角度/加速度计的速度的随机噪声。即加速度计从零时刻起累积的总角增量误差表现为随机游走。
- 温度漂移系数 (zero-rate offset change over temperature/ bias error over temperature):mg 或 m/sec2
零偏随温度改变的大小,越小代表加速度计的零偏随温度影响越小。
- 输出噪声 (output noise):mg rms 或 m/sec2 rms
加速度计的输出噪声。
- 噪声密度 (noise density):μg/√Hz rms
代表输出噪声与带宽的关系,直观的说就是影响对真实信号的辨识程度。(RMS:Root Mean Square 均方根)
换算关系:output noise=RMS Noise=Spectral Density/√filtergun*BW (BW:带宽, filter gain: 滤波器的增益,RMS: root mean square 均方根)
- 3dB 带宽 (3 dB bandwidth):Hz
半功率点系统带宽。需要参考手册中的寄存器说明。
- 加速度计最大输出频率 (max. effective accel output frequency):Hz
加速度计的最大采样频率。
- 传感器谐振频率 (sensor resonant frequency):Hz
加速度计的第一阶固有频率。
器件选型主要关注量程,温漂以及噪声,量产时间,价格因素。
器件对比
注:
- Markdown原生不支持双等号高亮,需要转换为HTML内嵌。
- 类似参数器件一栏中,默认按照数字从小到大排序,有高亮标注的器件表示该器件为新款式,推荐用于新设计,上小标表示器件的推荐排名,NRND 标注表示不推荐用于新设计。
- 高亮标注的器件的Datasheet在“典型器件规格”一栏中可以下载。
- 由于不同厂商器件的 Datasheet 内容有差异,表格中的参数可能有缺失,部分 Datasheet 参数未统计到表格中。
- 注意参数表的单位,可能会有不同,需要换算。
TDK InvenSense(应美盛):
器件属性
器件参数/典型器件名称 | ||||||||||
类似参数器件 | ==MPU6050==^1^ | ==MPU6500==^1^ | ICM20600/ ICM20602/ ICM20608/ ==ICM20689==^1^ | ICM-42605/ ICM-42670/ ==ICM42688-P==^1^/ <br />ICM42688-V/ ==ICM45686==^2^/ ICM45631/ ICM45605<br /> | ICM40609-D/ ==ICM40627==^1^ | ==ICG20660==^1^/ ICG20660L | IIM46230/ IIM46234/ ==IIM42652==^1^<br /> | MPU9150/ ==MPU9250==^1^ | IIM42351/ ==IIM42352==^1^ | ==IAM20380==^1^/ IAM20380HT/ IAM20381/ <br />IAM20680HP/ IAM20680HT<br /> |
传感器类型 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计<br />+3 轴磁力计 | 3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 |
工作温度(°C)<br />Temperature range<br /> | -40 … +85<br /> | -40 … +85 | -40 … +85 | -40 … +85 | -40 … +85 | -40 … +85 | -40 … +85 | -40 … +85 | -40 … +105 | -40 … +85 |
封装尺寸(mm³)<br />Package<br /> | QFN<br />4.0 x 4.0 x 0.90<br /> | QFN<br />3.0 x 3.0 x 0.90<br /> | QFN<br />4.0 x 4.0 x 0.90<br /> | LGA<br />2.5 x 3 x 0.91<br /> | LGA<br />3 x 3 x 0.91 | LGA<br />3 x 3 x 0.75 | Module<br />23 x 23 x 8.5<br /> | QFN<br />3.0 x 3.0 x 1.0<br /> | LGA<br />2.5 x 3 x 0.91 | LGA<br />3 x 3 x 0.75 |
输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br /> | 2.375 … 3.46<br /> | 1.8 … 3.3<br /> | 1.71 … 3.45<br /> | 1.71 … 3.6<br /> | 1.71 … 3.6<br /> | 1.71 … 3.45 | 3.0 … 3.6<br /> | 2.4 … 3.6<br /> | 1.71 … 3.6<br /> | 1.71 … 3.6<br /> |
以下参数适用条件:
- MPU6050/ MPU6500/ MPU9250: V~DD~ = 2.5V, V~DDIO~ = 2.5V, T~A~=25°C, 除非另有说明.
- ICM20689/ ICM40609-D/ ICM42688-P/ ICG20660: V~DD~ = 1.8 V, V~DDIO~ = 1.8 V, T~A~=25°C, 除非另有说明.
- IIM46230: V~DD~ = 3.3V, V~DDIO~ = 3.3V, T~A~=25°C, 除非另有说明.
- IAM20380/ IIM42351: V~DD~ = 1.8V, V~DDIO~ = 1.8V, T~A~ = 25°C, 除非另有说明.
陀螺仪 (Gyroscopes)
陀螺仪参数/IMU 器件名称 | |||||||||
动态量程(°/sec)<br />Full-Scale Range<br /> | ±250/±500/±1,000/±2,000 | ±250/±500/±1,000/±2,000 | ±250/±500/±1000/±2000 | ±250/±500/±1,000/±2,000 | ±2,000/±1,000/±500/±250/<br />±125/±62.5/31.25/15.625<br /> | ±2,000/±1,000/±500/±250/<br />±125/±62.5/31.25/15.625<br /> | ±125/±250/±500 | ±480/±250 | ±250/±500/±1000/±2000 |
灵敏度(LSB/°/sec)<br />Sensitivity Scale Factor<br /> | 131/65.5/32.8/16.4<br /> | 131/65.5/32.8/16.4<br /> | 131/65.5/32.8/16.4<br /> | 131/65.5/32.8/16.4<br /> | 16.4/32.8/65.5/131/<br />262/524.3/1,048.6/2,097.2 | 16.4/32.8/65.5/131/<br />262/524.3/1,048.6/2,097.2 | 262/131/65.5 | 2^31^/480<br />2^31^/250<br /> | 131/65.5/32.8/16.4 |
敏感度温漂(%)<br />Sensitivity Scale Factor Variation Over Temperature<br /> | ±2 | ±4 | ±4 | ±1.5 | ±0.005 | ±0.045 | ±3 | ±0.1 | ㅤ |
标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity<br /> | 0.2 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
零偏重复性(°/sec)<br /> | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | 0.02 | ㅤ |
零偏稳定性(°/sec)<br />Initial ZRO Tolerance<br /> | ±20 | ±5 | ±5 | ±5 | ±0.5 | ±1 | ±5 | 0.0317<br />(1.9 dph) | -0.8 |
角度随机游走误差(°/√hr) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | 0.07 | ㅤ |
温度漂移系数(°/sec)<br />ZRO Variation Over Temperature | ±20 | ±4 | ±30 | ±1.5 | ±0.005 | ±0.01 | ±5 | ±0.14 | ±1 |
线性加速度敏感系数(°/sec/g)<br />Linear Acceleration Sensitivity<br /> | 0.1 | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ±0.015 | ㅤ |
输出噪声(°/sec rms)<br />Total RMS Noise<br /> | 0.05 | 0.1 | 0.1 | ㅤ | (Bandwidth = 100 Hz)<br />0.028<br /> | (Bandwidth = 100 Hz)<br />0.045<br /> | 0.075 (92Hz)/ 0.10 (176Hz)/<br />0.12 (250Hz) | ㅤ | <br /> |
速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Rate Noise Spectral Density<br /> | 0.005 | 0.01 | 0.01 | 0.006 | 0.0028 | 0.0045 | 0.0065 (10Hz) | 0.0016 | 0.005 (-40°C to +85°C)<br />0.010 (-40°C to +85°C, <br />including lifetime drift)<br /> |
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | 16,000 | 16,000 (low-pass path Max)<br />8,000 (high-pass path Max) | 1,200 | 100 | ㅤ |
陀螺仪最大输出频率(Hz)<br />OUTPUT DATA RATE<br /> | 8,000 | 8,000 | 8,000 | 500 (Standard mode)/<br />8,000 (Low-Noise mode)<br /> | 32,000 | 32,000 | 8,000 | 1,000 | 8,000 |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
加速度计 (Accelerometers)
加速度计参数/IMU 器件名称 | |||||||||
动态量程(g)<br />Full-Scale Range<br /> | ±2/±4/±8/±16 | ±2/±4/±8/±16 | ±2/±4/±8/±16 | ±2/±4/±8/±16 | ±16/±8/±4/±2<br /> | ±32/±16/±8/±4 | ±2/±4/±8/±16 | ±16/±8/±4/±2 | ±16/±8/±4/±2 |
灵敏度(LSB/g)<br />Sensitivity Scale Factor<br /> | 16,384/8,192/4,096/2,048 | 16,384/8,192/4,096/2,048 | 16,384/8,192/4,096/2,048 | 16,384/8,192/4,096/2,048 | 2,048/4,096/8,192/16,384 | 1,024/2,048/4,096/8.192 | 16,384/8,192/4,096/2,048 | 2^31^/16 2^31^/8<br />2^31^/4 2^31^/2<br /> | 2,048/4,096/8.192/16,384 |
敏感度温漂(%/°C)<br />Sensitivity Change vs. Temperature<br /> | ±0.02 | ±0.026 | ±0.026 | ±1 | ±0.005 | ±0.007 | ±2.5 | ±0.2 | ±0.005 |
标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity<br /> | 0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.5 | ±0.05 | ±0.1 |
零偏重复性(mg) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(mg)<br />ZERO-G OUTPUT Initial Tolerance<br /> | ±50 (X, Y)/ ±80 (Z) | ±60 | ±60 (X, Y)/ ±80(Z) | ±20 | ±20 | ㅤ | ±40 (X, Y)/ ±65 (Z) | 7 (X, Y)/ 15 (Z) | ±20 |
速率随机游走误差(m/sec/√hr) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | 0.015 | ㅤ |
温度漂移系数(mg)<br />Zero-G Level Change vs. Temperature<br /> | ±35 (X, Y)/ ±60 (Z) | ±0.64 (X, Y)/ ±1 (Z) | ±1.5 | ±0.5 (X, Y)/ ±0.75 (Z) | ±0.15 | ±0.15 | ±50 | ±2 | ±0.15 |
输出噪声(mg rms)<br />RMS Noise | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | (Bandwidth = 100 Hz)<br />0.65 (X, Y)/ 0.70 (Z)<br /> | (Bandwidth = 100 Hz)<br />1.00<br /> | (Bandwidth = 100 Hz)<br />2<br /> | ㅤ | (Bandwidth = 100 Hz)<br />0.70<br /> |
速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Noise Power Spectral Density<br /> | 400 | 300 | 300 | 150 | 65 (X, Y)/ 70 (Z)<br /> | 100 | 220 | 41 | 70 |
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br /> | ㅤ | ㅤ | ㅤ | 1,046 (Low-Noise mode) | 16,000 (LN Mode Max)<br /> | 16,000 (low-pass path Max)<br />8,000 (high-pass path Max) | 1,046.0 | 100 | 4,000 |
加速度计最大输出频率(Hz)<br />OUTPUT DATA RATE | 1,000 | 500 (Standard mode)/<br />4,000 (Low-Noise mode)<br /> | 500 (Low power)/<br />4,000 (Low noise) | 500 (Standard mode)/<br />4,000 (Low-Noise mode)<br /> | 32,000 | 32,000 | 500 (Low power)/<br />4,000 (Low noise) | 1,000 | 8,000 |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | <br /> | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
器件命名规则:应用范围:
- MPU6000:全球首款6轴I²C运动跟踪器件,专为满足智能手机、平板电脑和可穿戴传感器的低功耗、低成本和高性能要求而设计,最高频率为 8KHz,MPU6000 的噪声问题较少,主要应用于入门级别飞控中。
- MPU6500:第二代 6 轴运动跟踪设备,适用于智能手机、平板电脑、可穿戴传感器和其他消费市场。DJI N3 飞控采用 MPU6500 作为主 IMU 传感器。
- MPU9250:外置三轴磁罗盘,主要应用于消费级飞控中。
- ICM20689:用于汽车应用的6轴运动跟踪装置;它结合了3轴陀螺仪和3轴加速度计,应用于消费级飞控,如 Betaflight 等,在飞控中最高可运行 32KHz。 但是,当在 ICM 陀螺仪上启用 32KHz 模式时,更容易产生噪音。当将它们用于 8KHz 时就不那么敏感了。
- ICM42688/ ICM42686:6轴MEMS运动跟踪器件,结合了3轴陀螺仪和3轴加速度计,主要应用于 pixhawk 系列飞控(雷迅 X5/X7/ 赫星 cube 飞控),以及高通 RB3,RB5 计算平台等。
- ICM40627:基于MEMS的高精度运动传感器,带有捆绑的空气运动算法,用于指向和运动控制。
- ICM40609-D:新出的 IMU,主要应用于飞控等
- ICG20660:结合3轴陀螺仪、3轴加速度计的6轴运动跟踪装置,JOUAV NP205 飞控主 IMU
- IAM20380:主要用于汽车自动驾驶领域。
- IIM42351/ IIM46230:主要用于工业领域。
ST(意法半导体):
器件属性
器件参数/典型器件名称 | L2G2IS | ||||||
类似参数器件 | ==LSM6DS3TR-C==^1^/ ==LSM6DSL==^2^/ LSM6DSM/ ==LSM6DSO==^3^/ LSM6DSO16IS/ <br />LSM6DSO32/ LSM6DSO32X/ LSM6DSOP/ LSM6DSOX/ <br />LSM6DSRX/ LSM6DST/ LSM6DSTX/ LSM6DSV/ <br />LSM6DSV16B/ LSM6DSV16BX/ LSM6DSV16X<br /> | ==ASM330LHH==^2^/ ASM330LHHX/ ==ISM330IS==^1^/ <br />ISM330DLC/ ISM330DHCX<br /> | ==LSM9DS0==^1^ | ==IIS2ICLX==^1<br />^NRND: AIS2120SX | AIS25BA/ AIS2DW12/ ==AIS2IH==^1^/ AIS328DQ/ AIS3624DQ (Automotive)<br />IIS3DHHC/ IIS2ICLX/ IIS328DQ/ IIS2DLPC/ <br />IIS2DH/ IIS2DLPC/ IIS328DQ/ IIS3DHHC/ IIS3DWB (Industrial)<br />LIS25BA/ LIS2DE12/ LIS2DH12/ LISDU12/ LISDS12 /LISDTW12/ <br />LIS2HH12/ LIS2DUX12/ LIS2DUXS12/ LIS2DW12/ LIS25BA/ LIS331DLH/ <br />LIS3DH/ LIS3DHH<br />H3LIS100DL/ H3LIS200DL/ H3LIS331DL (Consumer)<br />MIS2DH (Medical)<br />NRND: LIS2DH/ LIS2DW | NRND: L2G2IS | ==A3G4250D==^1^ (Automotive)/ I3G4250D (Industrial)<br />NRND: L3GD20H (Consumer) |
传感器类型 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 +<br />3 轴磁力计 | 2 轴加速度计 | 3 轴加速度计 | 2 轴陀螺仪 | 3 轴陀螺仪 |
工作温度(°C)<br />Temperature range<br /> | -40 … +85<br /> | -40 … +85 | -40 … +85<br /> | ㅤ | -40 … +115 | ㅤ | -40 … +85<br /> |
封装尺寸(mm³)<br />LGA package<br /> | 2.5 x 3.0 x 0.86<br /> | 2.5 x 3.0 x 0.86 | 4.0 x 4.0 x 1.0 | ㅤ | 2 x 2 x 0.93 | ㅤ | 4 x 4 x 1.1 |
输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br /> | 1.71 … 3.6<br /> | 1.71 … 3.6<br /> | 2.4 … 3.6<br /> | ㅤ | 1.62 … 3.6 | ㅤ | 2.4 … 3.6<br /> |
以下参数适用条件:
- LSM6DS3TR-C: V~DD~ = 1.8 V, T = 25 °C 除非另有说明.
- LSM9DS0: V~DD~ = 3.0 V, T = 25 °C 除非另有说明.
- ISM330DLC: V~DD~ = 1.8 V, T = 25 °C 除非另有说明.
- AIS2IH: V~DD~ = 3.0 V, T = -40 °C to +115 °C 除非另有说明. 该产品出场校正为 3.0 V
- A3G4250D: V~DD~ = 3.0 V, T = -40... +85 °C, 除非另有说明
陀螺仪 (Gyroscopes)
陀螺仪参数/IMU 器件名称 | ||||
动态量程(°/sec)<br />Angular rate measurement range<br /> | ±125/±250/±500/±1,000/±2,000 | ±245/±500/±2,000 | ±125/±250/±500/±1,000/±2,000 | ±245 |
灵敏度(LSB/°/sec)<br />Angular rate sensitivity<br /> | 4.375/8.75/17.50/35/70<br /> | 8.75/17.50/70 | 4.375/8.75/17.50/35/70<br /> | 8.75 (mdps/digit) |
敏感度温漂(%/°C)<br />Angular rate sensitivity change vs. temperature<br /> | ±0.007 | ±2 | ±0.007 | ±2 |
标度因数非线性(% FS)<br />Non linearity<br /> | ㅤ | ㅤ | ㅤ | 0.2 |
零偏重复性(°/sec) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(°/sec)<br />Angular rate zero-rate level<br /> | ±3 | ±10/±15/±25 | ±2 | ±25 |
角度随机游走误差(°/√hr) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
温度漂移系数(°/sec/°C)<br />Angular rate typical zero-rate level change vs. temperature<br /> | ±0.05 | ㅤ | ±0.015 | ±0.03<br /> |
线性加速度敏感系数(°/sec/g) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
输出噪声(°/sec rms)<br />Gyroscope RMS noise <br /> | 0.075 | ㅤ | 0.075 | ㅤ |
速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Rate noise density<br /> | 0.005 | ㅤ | 0.038 | 0.03 |
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br /> | 937 | ㅤ | 937 | ㅤ |
陀螺仪最大输出频率(Hz)<br />Angular rate output data rate Max | 6,664 | 760 | 6,664 | 840 |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
加速度计 (Accelerometers)
加速度计参数/IMU 器件名称 | |||||
动态量程(g)<br />Linear acceleration measurement range<br /> | ±2/±4/±8/±16 | ±2/±4/±8/±16 | ±2/±4/±8/±16 | ±2/±4/±8/±16 | ±0.5/±1/±2/±3 |
灵敏度(mg/LSB)<br />Linear acceleration sensitivity<br /> | 0.061/0.122/0.244/0.488 | 0.061/0.122/0.244/0.732 | 0.061/0.122/0.244/0.488 | 0.244/0.488/0.976/1.952<br />(High-Performance Mode)<br />0.976/1.952/3.904/7.808<br />(Low-Power Mode) | 0.015/0.031/0.061/0.122 |
敏感度温漂(%/°C)<br />Linear acceleration sensitivity change vs. temperature<br /> | ±0.01 | ±1.5 | ±0.01 | ±0.01 | ±0.01±0.012 |
标度因数非线性(% FS) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ±0.3 | 0.1 |
零偏重复性(mg) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(mg)<br />Linear acceleration zero-g level offset accuracy<br /> | ±40 | ±60 | ±40 | ±20 | ±8 |
速率随机游走误差(m/sec/√hr) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
温度漂移系数(mg/°C)<br />Linear acceleration zero-g level change vs. temperature<br /> | ±0.5 | ±0.5 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.020±0.075 |
输出噪声(mg rms)<br />Acceleration RMS noise in normal/low-power mode<br /> | 1.7/2.0/2.4/3.0 | ㅤ | 1.8/2.0/2.4/3.0 | 1.6/2.1/3.0/5.5<br />(Low-Power Mode)<br /> | ㅤ |
速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Acceleration noise density in high-performance mode<br /> | 90/90/90/130 | ㅤ | 75/80/90/130 | 90 | 15/ 30 (Max) |
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br /> | 3,332 (low-pass path Max)<br />1,666 (high-pass path Max) | ㅤ | 773 | 400 (low-pass path Max)<br />200 (high-pass path Max) | 260 |
加速度计最大输出频率(Hz)<br />Linear acceleration output data rate Max | 6,664 | 760 | 6,664 | 800 | 833 |
传感器谐振频率(Hz)<br />Sensor resonant frequency<br /> | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | 900 |
器件命名规则:
- A 开头的器件应用于汽车领域
- I 开头的器件应用于工业领域
- L/H 开头的器件应用于消费级领域
应用范围:ST 系列的 iNEMO 系统级封装 (SiP) 在 6 轴单片式解决方案内整合了加速度计和陀螺仪。多个传感器输出的集成确保了运动感测系统的高精度,适用于要求严苛的应用,如增强型手势识别、游戏、增强实境、室内导航和基于本地化的服务。
- LSM6DS3TR:一款系统级封装,包含一个3D数字加速度计和一个3D数字陀螺仪,主要应用于体感交互、穿戴式动作捕捉设备等。
- LSM9DS0:具有3D数字线性加速度传感器和3D数字角速率传感器(3D数字磁传感器)的系统级封装,主要应用于体感交互、穿戴式动作捕捉设备等。
- ISM330DLC:一种系统级封装器件,它具有专为工业4.0应用而量身定制的高性能3D数字加速度计和3D数字陀螺仪。
- AIS2IH:MEMS数字输出运动传感器:适用于汽车应用的高性能3轴加速度计。
- L2G2IS:双轴陀螺仪,不推荐用于新设计。
- A3G4250D:低功耗 3 轴角速率传感器,能够在零速率水平下提供前所未有的稳定性,并在整个温度和时间范围内提供灵敏度。
Bosch(博世):
器件属性
器件参数/典型器件名称 | |||
类似参数器件 | BMI085/ ==BMI088==^1^ | BMI055/ ==BMI160==^1^ | BMI270/ BMI263/ BMI260/ ==BMI323==^1^ |
传感器类型 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 |
工作温度(°C)<br />Temperature range<br /> | -40 … +85 | -40 … +85 | -40 … +85 |
封装尺寸(mm³)<br />LGA package<br /> | 3 x 4.5 x 0.95 | 3 x 4.5 x 0.95 | 2.5 x 3.0 x 0.83 |
输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br /> | 2.4 … 3.6 | 2.4 … 3.6 | 1.71 ... 3.63 |
以下参数适用条件:
- BMI088/ BMI055: T~A~=25, BW_Accel=1kHz, V~DD~ = V~DDIO~ = 2.4 V, 除非另有说明.
- BMI323: T~A~=25, V~DD~ = V~DDIO~ = 1.8 V, 除非另有说明.
陀螺仪 (Gyroscopes)
陀螺仪参数/IMU 器件名称 | |||
动态量程(°/sec)<br />Measurement range<br /> | ±125/±250/±500/<br />±1,000/±2,000<br /> | ±125/±250/±500/<br />±1,000/±2,000<br /> | ±125/±250/±500/<br />±1000/±2000<br /> |
灵敏度(LSB/°/sec)<br />Measurement sensitivity<br /> | 262.144/131.072/65.536/<br />32.768/16.384<br /> | 262.4/131.2/65.6/<br />32.8/16.4<br /> | 262.144/131.072/65.536/<br />32.768/16.384<br /> |
敏感度温漂(%)<br />Sensitivity Change over Temperature<br /> | ±0.03 | ±0.03 | ±0.02 |
标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity | ±0.05 | ±0.05 | 0.15 |
零偏重复性(°/sec) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(°/sec)<br />Zero-rate Offset<br /> | ±1 | ±1 | ±1 |
角度随机游走误差(°/√hr) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
温度漂移系数(°/sec)<br />Zero-$\Omega$ Offset Change over Temperature <br /> | ±0.015 | ±0.015 | ±0.04 |
线性加速度敏感系数(%)<br /> | ㅤ | <br /> | ㅤ |
输出噪声(°/sec rms)<br />Output Noise<br /> | 0.1 | 0.1 | ㅤ |
速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Output Noise Density<br /> | 0.014 | 0.014 | 0.007 |
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br /> | 523 | 230 | 563 |
陀螺仪最大输出频率(Hz)<br />Data rate Max | 2,000 | 2,000 | 6,400 |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
加速度计 (Accelerometers)
加速度计参数/IMU 器件名称 | BMI055<br /> | ||
动态量程(g)<br />Acceleration Range<br /> | ±3/±6/±12/±24<br /> | ±2/±4/±8/±16 | ±2/±4/±8/±16 |
灵敏度(LSB/g)<br />Measurement sensitivity<br /> | 10,920/5,460/2,730/1,365<br /> | 1,024/512/256/128 | 16,384/8,192/4,096/2,048 |
敏感度温漂(%/°C)<br />Sensitivity Temperature Drift | 0.002 | ±0.02 | ±0.005 |
标度因数非线性(% FS) | 0.5 | ±0.5 | 0.1 |
零偏重复性(mg) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(mg)<br />Zero-g offset<br /> | ±20<br /> | ±70 | ±35 (soldered)<br />±50 (soldered, over life time)<br /> |
速率随机游走误差(m/sec/√hr) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
温度漂移系数(mg/°C)<br />Zero-g Offset Temperature Drift | <0.2 | ±1 | ±0.3 |
输出噪声(mg rms)<br /> | <br /> | ㅤ | ㅤ |
速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Output Noise Density<br /> | 175<br /> | 150 | 180 |
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br /> | 280 (X, Y)/ 245 (Z) | 1,000 | 1,677 |
加速度计最大输出频率(Hz)<br />Data rate Max<br /> | 1,600 | ㅤ | 1,600 |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
器件命名规则:应用范围:Bosch 系列的 6 轴 IMU 性价比具有较大优势,主要应用于体感相机等消费级电子领域。
- BMI088:主要应用于体感跟踪相机,比如小觅深度相机,RoboMaster 系列开发板等。
- BMI055:主要应用于体感跟踪相机,比如英特尔的 Realsense T265、Realsense D455 等。
ADI:
器件属性
器件参数/典型器件名称 | ||||||||||||
类似参数器件 | ==ADIS16334==^1^/ ADIS16362/ ADIS16364/ ADIS16365/ <br />==ADIS16375==^2^ | ADIS16445/ ==ADIS16446==^1^/ ADIS16448/ ADIS16460/ <br />ADIS16465(-1/-2/-3)/ ADIS16467(-1/-2/-3)/ ==ADIS16470==^2^/ ==ADIS16475==^3^(-1/-2/-3)/ <br />ADIS16477(-1/-2/-3)/ ADIS16480/ ADIS16485/ ADIS16486/ <br />ADIS16488A/ ADIS16489/ ADIS16490/ ==ADIS16495==^4^(-1/-2/-3)/ <br />==ADIS16497==^5^(-1/-2/-3)<br /> | ==ADIS16500==^1^/ ==ADIS16505==^2^(-1/-2/-3)/ ==ADIS16507==^3^(-1/-2/-3) | ADXL103/ ADXL1001/ ADXL1002/ ==ADXL1003==^1^/ <br />ADXL1004/ ==ADXL1005==^2^<br /> | ADIS16203/ ==ADIS16209==^1<br />^NRND: ADXL151/ ADXL180/ ADXL185B/ <br />ADXL189B/ ADXL195 | ==ADXL203==^2^(AD22035/ AD22037)/ ==ADXL206==^1^ | ==ADXL213==^1^/ ADIS16003/ ==ADIS16006==^2^/ ADIS16201<br />NRND: ADXL212/ ADXL251/ ADXL288/ ADXL295/ | ADXL312/ ADXL313/ ==ADXL314==^1^/ <br />ADXL343/ ADXL344/ ADXL345/ ADXL346/ <br />ADXL350/ ADXL355/ ADXL357/ ADXL362/ <br />ADXL363/ ==ADXL367==^2^/ ==ADXL371==^3^/ ADXL372/ <br />ADXL375/ ADIS16210/ ADIS16240<br />NRND: ADXL700 | ADXL316/ ADXL325/ ADXL326/ ADXL327/ <br />ADXL335/ ==ADXL354==^2^/ ==ADXL356==^1^/ <br />ADXL377<br />NRND: ADXL337 | ADXRS622/ ADXRS623/ ADXRS624/ ADXRS642/ <br />==ADXRS645==^1^/ ADXRS646/ ADXRS649/ ADXRS652/ <br />NRND: ADXRS620<br /> | ADIS16135/ ==ADIS16136==^2^/ ==ADIS16137==^1^/ <br />ADIS16260/ ADIS16265/ ADXRS450/ ADXRS453<br />NRND: ADXRS800/ ADXRS810/ ADXRS910/ ADIS16060<br /> | ==ADXRS290==^1^ |
传感器类型 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 1 轴加速度计(模拟输出) | 1 轴加速度计(数字输出) | 2 轴加速度计(模拟输出) | 2 轴加速度计(数字输出) | 3 轴加速度计(数字输出) | 3 轴加速度计(模拟输出) | 1 轴陀螺仪(模拟输出)<br /> | 1 轴陀螺仪(数字输出) | 2 轴陀螺仪 |
工作温度(°C)<br />Temperature range<br /> | -40 … +105 | -25 … +85 (ADIS16470)<br />-40 … +105 (Others)<br /> | -25 … +85 (ADIS16500)<br />-40 … +105 (Others)<br /> | -40 … +125 | -40 … +125 | -40 … +125<br /> | -40 … +85 (ADXL212/ ADXL213)<br />-40 … +125 (Others) | -40 … +125 (ADXL314/ ADXL357/ ADIS16210)<br />-40 … +105 (ADXL312/ ADXL313/ ADXL345/ ADXL371/ ADXL372/ ADXL375)<br />-40 … +85 (Others)<br /> | -40 … +105 (ADXL316)<br />-40 … +125 (ADXL354)<br />-40 … +85 (Others)<br /> | -40 … +105 | -40 … +85 (ADIS16136)<br />-40 … +105 (Others)<br /> | -25 … +85 |
封装尺寸(mm³)<br />Package<br /> | ? | BGA<br />11 x 15 x 11<br /> | BGA<br />15 x 15 x 15<br /> | 8-Terminal Ceramic LCC<br />5 x 5 x 2 | LGA<br />9.2 x 9.2 x 3.9 | 8-Terminal Ceramic LCC<br />5 x 5 x 2 | LCC<br />5 x 5 x 2 | LFCSP<br />5 x 5 x 1.45 | LFCSP<br />4 x 4 x 1.45 | BGA<br />7 x 7 x 3 | LGA<br />8.2 x 8.2 x 5.2<br /> | cavity laminate<br />4.5 x 5.8 x 1.2 |
输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br /> | 3.0 … 3.6 | 3.0 … 3.5 | 3.0 … 3.6 | 3.0 … 6.0 | 3.0 … 3.6 | 3.0 … 6.0 | 3.0 … 6.0 | 2.0 … 3.6 | 1.8 … 3.6 | 4.75 … 5.25 | 4.75 … 5.25 | 2.7 … 5.0 |
注:
- 以上集成式 MEMS IMU 器件中,ADIS16500 和 ADIS16470 的适用温度范围为-25 to 85°C,其他器件的适用温度范围为-40 to 105°C。
以下参数适用条件:
- ADIS16375: T~A~ = 25°C, V~DD~ = 3.3 V, 角速度 = 0°/sec, 动态范围 = ±300°/sec ± 1 g, 除非另有说明.
- ADIS16470/ ADIS16507: 案例温度 T~C~ = 25°C, V~DD~ = 3.3 V, 角速度 = 0°/sec, 动态范围 = ±2000°/sec ± 1 g, 除非另有说明.
- ADXL103/ ADXL203/ AD22035/ AD22037: T~A~ = −40°C to +125°C, V~S~ = 5 V, C~X~ = C~Y~ = 0.1 µF, 加速度 = 0 g, 除非另有说明. 所有最大值参数和最小值参数都有保证. 所有典型参数都没有保证.
- ADXL314: T~A~ = 25°C, V~S~ = 2.5 V, V~DD I/O~ = 2.5 V, 加速度 = 0 g, V~S~ 电容 (C~VS~) = 1 μF 坦, V~DD I/O~ 电容 (C~VDD I/O~) = 0.1 μF, ODR = 100 Hz, 除非另有说明.
- ADXRS642: 所有最大值参数和最小值参数都有保证. 所有典型参数都没有保证. T~A~ = 25°C, V~S~ = AV~CC~ = V~DD~ = 5 V, V~RATIO~ = AV~CC~, 角速度 = 0°/sec, 带宽 = 80 Hz (C~OUT~ = 0.01 µF), I~OUT~ = 100 µA, ±1 g, 除非另有说明.
- ADXRS290: T~A~ = 25°C. V~S~ = V~DD I/O~ = 3 V, 角速度 = 0°/sec, 带宽 = dc to 480 Hz, C~S~ = C~REG~ = C~I/O~ = C~CP~ = 1 µF, 数字模式, 温度传感器 = off, 除非另有说明. 所有最大值参数和最小值参数都有保证. 所有典型参数都没有保证.
陀螺仪 (Gyroscopes)
陀螺仪参数/IMU 器件名称 | ||||||
动态量程(°/sec)<br />Dynamic Range<br /> | ±350 | ±2,000 | ±125/±500/±2,000 | ±250/±300 | ±50 (Min)/ ±80 | ±100 |
灵敏度(LSB/°/sec)<br />Sensitivity<br /> | 0.01311 | 10 (16-bit)<br />655,360 (32-bit)<br /> | 160/40/10 (16-bit)<br />10,485,760/2,621,440/655,360 (32-bit)<br /> | ㅤ | 0.0110 (Min)/ 0.0122/ 0.0134 (Max) | 200 |
敏感度温漂(%)<br />Sensitivity Error over Temperature<br /> | ㅤ | ±0.25 | ±0.5/±0.5/±0.3 | ±2 | ±3 | ±1 |
标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity<br /> | ±0.025 | ±0.25 | 0.2/0.2/0.2 | 0.01 | 0.1 | ±0.5 |
零偏重复性(°/sec)<br />Bias Repeatability | ㅤ | ㅤ | 0.14 (X, Y)/ 1.4(Z) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(°/hr)<br />Bias In Run Stability<br /> | 12 | 8 | 1.5 (X)/ 2.3 (Y)/ 1.7 (Z)<br />2.2 (X)/ 2.7 (Y)/ 1.6 (Z)<br />7.5 (X)/ 8.1 (Y)/ 4.9 (Z)<br /> | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
角度随机游走误差(°/√hr)<br />Bias Angular Random Walk<br /> | 1.0 | 0.34 | 0.13 (X, Y)/ 0.19(Z)<br />0.15 (X, Y)/ 0.2(Z)<br />0.29 (X, Y)/ 0.32(Z)<br /> | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
温度漂移系数(°/sec)<br />Bias Error over Temperature | ±0.005 | 0.2 | ±0.3 (X, Y)/ ±0.7(Z) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
线性加速度敏感系数(°/sec/g)<br />Bias Linear Acceleration Effect | ±0.013 | 0.015 | 0.572 × 10^−3^ (X)/ 1.02 × 10^−3^ (Y)/ 0.408 × 10^−3^ (Z) | 0.03 | ±0.1 | ㅤ |
输出噪声(°/sec rms)<br />Bias Output Noise | 0.45 | 0.17 | 68 × 10^−3^ (X, Y)/ 104 × 10^−3^ (Z)<br />82 × 10^−3^ (X, Y)/ 116 × 10^−3^ (Z)<br />152 × 10^−3^ (X, Y)/ 181 × 10^−3^ (Z)<br /> | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Bias Rate Noise Density<br /> | 0.02 | 0.008 | 3.0 × 10^−3^ (X, Y)/ 4.3 × 10^−3^ (Z)<br />3.4 × 10^−3^ (X, Y)/ 4.6 × 10^−3^ (Z)<br />6.1 × 10^−3^ (X, Y)/ 7.0 × 10^−3^ (Z)<br /> | 0.02 | 0.04 | 0.004 |
3dB 带宽(Hz)<br />3 dB Bandwidth<br /> | 330 | 550 | 480 (X, Y)/ 590(Z)<br />480 (X, Y)/ 590(Z)<br />573 (X, Y)/ 639(Z)<br /> | 2,000 | 1,000 | 480 (Low-Pass)<br />11.3 (High-Pass) |
陀螺仪最大输出频率(Hz) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
传感器谐振频率(Hz)<br />Sensor Resonant Frequency<br /> | 14,500 | 66,000 | 66,000 (X, Y)/ 78,000 (Z) | 15,000 (Min)/ 17,000/ 19,000 (Max) | 14,500 | ㅤ |
加速度计 (Accelerometers)
加速度计参数/IMU 器件名称 | ADIS16470<br /> | ||||||||
动态量程(g)<br />Dynamic Range<br /> | ±10/±18 | ±10/±20/±40<br /> | ±392 | ±1.7 | ±1.7 (Min) | ±18 (Min) | ±1.2 | ±200 | ±16 (Min)/ ±19 |
灵敏度(LSB/g)<br />Sensitivity<br /> | 1,220.703<br />(0.8192 mg/LSB) | 800 (16-bit)<br />52,428,800 (32-bit)<br /> | 5,351,254 (32-bit)<br /> | 960 (Min)/ 1,000/ 1,040 (Max)<br />mV/g<br /> | 0.243 (Min)/ 0.244/ 0.245 (Max) | 94 (Min)/ 100/ 106 (Max)<br />mV/g | 27 (Min)/ 30/ 33 (Max) | 20.48 | 50 (Min)/ 57/ 64 (Max) |
敏感度温漂(%)<br />Sensitivity Error over Temperature<br /> | ㅤ | ±0.1<br /> | ±0.06 | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ±0.3 | 8 | ±0.5 |
标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity<br /> | ±0.1/±0.5 | 0.02/0.4/1.5 | 0.25 (±19.6 m/sec2)/ 0.5 (±78.4 m/sec2, X)/<br />1.5 (±78.4 m/sec2, Y, Z)<br /> | ±0.2/±1.25 (Max) | ±0.1/ ±0.2 (Max) | ±0.2/±1.25 (Max) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.2 |
零偏重复性(m/sec^2^)<br />Bias Repeatability<br /> | ㅤ | ㅤ | 58.8 × 10^−3^ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(mg)<br />Bias In Run Stability<br /> | 0.13 | 0.013 | 0.125 (X, Y)/ 0.134 (Z) | ±25 | ㅤ | ±125 | ㅤ | ±1,000 (X, Y)/ ±3,000 (Z)<br /> | ㅤ |
速率随机游走误差(m/sec/√hr)<br />Bias Velocity Random Walk | 0.076 | 0.037 | 0.039 (X, Y)/ 0.033 (Z) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
温度漂移系数(mg)<br />Bias Error over Temperature | ±0.1 | ±4<br /> | ±14.7 × 10^−3^ | ±0.1/±0.8 (Max) | ㅤ | ±1 | ㅤ | ±20 (−40°C to +105°C)<br />±100 (+105°C to +125°C) | ㅤ |
输出噪声(mg rms)<br />Bias Output Noise | 1.5 | 2.3 | 24.8 (X, Y)/ 20.3 (Z) | 1/3 (Max) | 1.7 | 0.2 | ㅤ | ㅤ | 1 mV |
速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Bias Noise Density | 60 | 100<br /> | 880 (X, Y)/ 732 (Z) | 110 | 0.19 | 230 | 160 | 565 (X, Y)/ 680 (Z) | 210 (X, Y)/ 450 (Z) |
3dB 带宽(Hz)<br />3 dB Bandwidth<br /> | 330 | 600 | 750 | 2,500 | 50 | 2,500 | 2,500 | 3,200 | 1,600 (X, Y)/ 550 (Z) |
加速度计最大输出频率(Hz) | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
传感器谐振频率(Hz)<br />Sensor Resonant Frequency<br /> | 5,500 | 5,650 (X, Y)/ 5,250 (Z) | 5,500 (X, Y)/ 5,000 (Z) | 5,500 | 5,500 | 5,500 | 5,500 | ㅤ | 4,200 |
器件命名规则:
- ADIS 系列表示集成式 IMU 惯性器件,其中数字 AD 代表 ADI 前缀,I 表示 IMU 惯性器件,S 表示器件工作温度在(-25-85)℃,
- ADXL 系列表示集成或分立式加速度计器件,其中数字 AD 代表 ADI 前缀,L 表示加速度计(Accelerator),
- ADXR 系列表示集成或分立式陀螺仪器件,其中数字 AD 代表 ADI 前缀,R 表示角速度计(Rotate),S 表示器件工作温度在(-25-85)℃,
- ADIS 系列表示集成式 IMU 惯性器件,其中数字 AD 代表 ADI 前缀,I 表示 IMU 惯性器件,S 表示器件工作温度在(-25-85)℃,
应用范围:ADI 公司的惯性测量单元(IMU)传感器以多轴方式组合精密陀螺仪、加速度计、磁力计和压力传感器。即便是在极为复杂的应用和动态环境下,也能可靠地检测并处理多个自由度。这些即插即用型解决方案包括完整的出厂校准、嵌入式补偿和传感器处理以及简单的可编程接口。
- ADIS16375:JOUAV AP101 飞控主 IMU,薄型、低噪声6自由度惯性传感器,推荐用于新设计。
- ADIS16470:主要应用于高端消费级/工业级飞控,如雷迅的 X7 pro 飞控。宽动态范围微型 MEMS IMU,推荐用于新设计。
- ADIS16507(-1/-2/-3):精密微型 MEMS IMU,主要用于对精度要求较高的工业场景中。
- AD22035/AD22037:应用于 JOUAV NP205 飞控中。精密±1.7 g、±5 g、±18 g 双轴iMEMS® 加速度计,推荐用于新设计。
- ADXL103:精密 ±1.7g 或±18 g 单轴iMEMS® 加速度计,推荐用于新设计。
- ADXL314:±200 g 范围、3轴数字加速度计,推荐用于新设计。
- ADXRS642:模拟输出,JOUAV NP205 飞控 IMU,具有振动抑制特性的±250°/s偏航角速度陀螺仪,推荐用于新设计。
- ADXRS290:ADI 唯一一款双轴陀螺仪,用于稳定应用的超低噪声、双轴MEMS陀螺仪,推荐用于新设计。<br />
NXP:
器件属性
器件参数/典型器件名称 | |||
类似参数器件 | ==FXLS8971CF==^1^/ ==FXLN83xxQ==^2^/ FXLS90xxx/ FXLS8471Q/ <br />FXLS8962AF/ FXLS8974CF/ FXOS8700CQ<br /> | ==FXLS8961AF==^1^/ FXLS90xxx/ FXLS93xxx/ FXLS8471Q/ FXLS8962AF/ <br />FXLS8964AF/ FXLS8967AF/ MMA26xx/ MMA69xxKQ<br /> | ==MMA8451Q==^1^/ MMA8452Q/ MMA8453Q/ MMA8491Q/ <br />MMA8652FC/ MMA8653FC<br /> |
传感器类型 | 3 轴加速度计 | 3 轴加速度计 | 3 轴加速度计 |
工作温度(°C)<br />Temperature range<br /> | -40 … +105 | -40 … +105 | -40 … +85 |
封装尺寸(mm³)<br />QFN package<br /> | 3 x 3 x 1.25 | 3 x 3 x 1.25 | 3 x 3 x 1.0 |
输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br /> | 1.71 … 3.6 | 1.71 … 3.6 | 1.95 … 3.6 |
以下参数适用条件:
- FXLS8971CF/ FXLS8961AF: V~DDA~ = 1.8 V to 3.0 V; T~amb~ = −40 °C to +105 °C 除非另有说明
- MMA8451Q: V~DD~ = 2.5 V, V~DDIO~ = 1.8 V, T = 25 °C 除非另有说明
加速度计 (Accelerometers)
加速度计参数/IMU 器件名称 | |||
动态量程(g)<br />Full-scale measurement range | ±2/±4/±8/±16<br /> | ±2/±4/±8/±16<br /> | ±2/±4/±8 |
灵敏度(mg/LSB)<br />Nominal sensitivity<br /> | 0.98/1.95/3.91/7.81 | 0.98/1.95/3.91/7.81 | 4096/2048/1024<br />counts/g |
敏感度温漂(%/°C)<br />Temperature coefficient of sensitivity<br /> | ±0.01<br /> | ±0.01<br /> | ±0.008 |
标度因数非线性(% FS) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏重复性(mg) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(mg)<br />Zero-g offset, post-board mount, FSR<br />≤ ±8g<br /> | ±30<br /> | ±30<br /> | ±17 |
速率随机游走误差(m/sec/√hr) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
温度漂移系数(mg/°C)<br />Zero-g offset temperature coefficient, <br />post-board mount<br /> | 0.15 (X, Y)/ 0.15 (Z) | 0.25 (X, Y)/ 0.25 (Z) | ±0.15 |
输出噪声(mg rms)<br />Noise RMS, Low-Power Mode, <br />FSR ≤ ±4 g, all ODR ranges<br /> | <br /> | 7.8 (X, Y)/ 9.4 (Z) | 126 (normal)<br />99 (low-noise)<br /> |
速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Noise Spectral Density, High Performance Mode, <br />FSR ≤ ±4 g, 25Hz ≤ ODR ≤ 3200 Hz<br /> | <br /> | 217 (X, Y)/ 257 (Z) | ㅤ |
3dB 带宽(Hz)<br />Maximum signal bandwidth<br /> | 1,600 | 1,600 | 266.7 (Min)/ 400 (Max) |
加速度计最大输出频率(Hz)<br />Maximum ODR<br /> | 3,200 | 3,200 | 800 |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
器件命名规则:应用范围:恩智浦提供基于微机电系统(MEMS) 的差异化加速度传感器产品组合,以满足不断扩大的汽车、医疗保健和工业需求。
- FXLS8971CF:主要应用于 IoT 和工业医疗领域。
- FXLS8961AF:主要应用于自动驾驶领域。
Honeywell:
器件属性
器件参数/典型器件名称 | ||
类似参数器件 | HG1125/ HG1126/ HG1700/ <br />HG1900/ HG1930<br /> | HG5700/ HG9900 |
传感器类型 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 |
工作温度(°C)<br />Temperature range<br /> | -40 … +71 | -54 … +85 |
器件尺寸(mm³)<br />Package<br /> | <0.6in^3^, 31 D x 11.7 H | 46in^3^ |
输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br /> | +3.3VDC +7%/- 3%<br /> | +15V, +5V |
以下参数适用条件:
- 全温度范围内适用
陀螺仪 (Gyroscopes)
陀螺仪参数/IMU 器件名称 | ||
动态量程(°/sec)<br />3-Axis Gyroscope Operating Range<br /> | 4000 | 1074 |
灵敏度(LSB/°/sec)<br /> | <br /> | ㅤ |
敏感度温漂(%) | ㅤ | ㅤ |
标度因数非线性(% FS) | ㅤ | ㅤ |
零偏重复性(°/hr) | 120/240/360 | 0.035/0.070/0.140 |
零偏稳定性(°/hr) | 7/10/20 | 0.01/0.02/0.04 |
角度随机游走误差(°/√hr) | 0.30/0.40/0.50 | 0.006/0.012/0.025 |
温度漂移系数(°/sec) | ㅤ | ㅤ |
线性加速度敏感系数(°/sec/g) | ㅤ | ㅤ |
输出噪声(°/sec rms) | ㅤ | ㅤ |
速率噪声密度(°/sec/√Hz rms) | ㅤ | ㅤ |
3dB 带宽(Hz) | 145Hz (configurable to 260Hz) | ㅤ |
陀螺仪最大输出频率(Hz) | 600Hz/100Hz (configurable to 1800Hz/300Hz) | ㅤ |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ |
加速度计 (Accelerometers)
加速度计参数/IMU 器件名称 | ||
动态量程(g)<br />3-Axis Accelerometer Operating Range<br /> | ±96/ ±200G or ±400G<br /> | ±37 |
灵敏度(mg/LSB)<br /> | <br /> | ㅤ |
敏感度温漂(%/°C)<br /> | <br /> | ㅤ |
标度因数非线性(% FS) | ㅤ | ㅤ |
零偏重复性(mg) | 1.5/2.0/3.0 | 200/300/300 |
零偏稳定性(mg)<br /> | 0.035/0.04/0.05 | 35/50/50 |
速率随机游走误差(m/sec/√hr) | 0.18/0.24/0.30 | 0.065/0.065/0.065 |
温度漂移系数(mg/°C)<br /> | <br /> | ㅤ |
输出噪声(mg rms)<br /> | <br /> | ㅤ |
速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br /> | <br /> | ㅤ |
3dB 带宽(Hz)<br /> | 145Hz (configurable to 260Hz)<br /> | ㅤ |
加速度计最大输出频率(Hz) | 600Hz/100Hz (configurable to 1800Hz/300Hz) | ㅤ |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ |
应用范围:
- HG1125/HG1126:小型无人机,武器装备等。
- HG5700:武器装备,无人机,稳定平台,钻探等。
QST(上海矽睿):
器件属性
器件参数/典型器件名称 | QMA6100P | ||
传感器类型 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 +<br />3 轴磁力计 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | 3 轴加速度计 |
工作温度(°C)<br />Temperature range<br /> | -40 … +85 | -40 … +85 | ㅤ |
封装尺寸(mm³)<br />LGA package<br /> | 2.5 x 3.0 x 0.86 | 3.3 x 3.3 x 1.0 | ㅤ |
输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br /> | 1.71 … 3.6 | 2.4 … 3.6 | ㅤ |
以下参数适用条件:
- QMI8658/ QMI8610: V~DD~ = V~DDIO~ = 1.8 V, T = 25°C 除非另有说明
陀螺仪 (Gyroscopes)
陀螺仪参数/IMU 器件名称 | ||
动态量程(°/sec)<br />Scale Setting<br /> | ±16/±32/±64/±128/<br />±256/±512/±1,024/±2,048<br /> | ±32/±64/±128/±256/<br />±512/±1,024/±2,048/±2560<br /> |
灵敏度(LSB/°/sec)<br />Sensitivity<br /> | 2048/1024/512/256/<br />128/64/32/16<br /> | 1024/512/256/128/<br />64/32/16/8<br /> |
敏感度温漂(%/°C)<br />Temperature Coefficient of Sensitivity (TCS)<br /> | ±0.05 (X, Y)/ ±0.01 (Z) | ±0.05 (X, Y)/ ±0.01 (Z) |
标度因数非线性(% FS)<br />Non-Linearity | ±0.2 | 0.1 |
零偏重复性(°/sec) | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(°/sec)<br />Initial Offset Tolerance<br /> | ±10 | ±10 (X, Y)/ ±5 (Z) |
角度随机游走误差(°/√hr) | ㅤ | ㅤ |
温度漂移系数(°/sec) | ㅤ | ㅤ |
线性加速度敏感系数(°/sec/g)<br />g-Sensitivity<br /> | ±0.1 | ±0.1 |
输出噪声(°/sec rms) | ㅤ | ㅤ |
速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Noise Density<br /> | 0.013 | 0.01 |
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth | 1,973.0 | 500 |
陀螺仪最大采样频率(Hz)<br />ODR (Accel + Gyro)<br /> | 7,174.4 | 1,000 |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ |
加速度计 (Accelerometers)
加速度计参数/IMU 器件名称 | QMA6100P | ||
动态量程(g)<br />Scale Setting | ±2/±4/±8/±16<br /> | ±2/±4/±8/±16<br /> | ㅤ |
灵敏度(mg/LSB)<br />Sensitivity<br /> | 16,384/8,192/4,096/2,048<br /> | 16,384/8,192/4,096/2,048<br /> | ㅤ |
敏感度温漂(%/°C)<br />Temperature Coefficient of Sensitivity (TCS) | ±0.04<br /> | ±0.01 | ㅤ |
标度因数非线性(% FS)<br />Non-Linearity<br /> | ±0.75 | ±0.75 | ㅤ |
零偏重复性(mg) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
零偏稳定性(mg)<br />Initial Offset Tolerance<br /> | ±100<br /> | ±50 (X, Y)/ ±100 (Z) | ㅤ |
速率随机游走误差(m/sec/√hr) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
温度漂移系数(mg/°C)<br /> | <br /> | ㅤ | ㅤ |
输出噪声(mg rms)<br /> | <br /> | ㅤ | ㅤ |
速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Noise Density<br /> | 150<br /> | 70 | ㅤ |
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br /> | 1,973.0 | 500 | ㅤ |
加速度计最大采样频率(Hz)<br />ODR (Accel + Gyro)<br /> | 7,174.4<br /> | 1,000 | ㅤ |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ | ㅤ |
应用范围:国产 IMU 系列,QMI 系列 IMU 带自校准传感器融合和系统级定位精度,集成惯性传感器数据预处理引擎,可到达国际主流品牌同等性能与可靠性,是高性能消费品和工业应用的理想选择。
- QMI8658:内置三轴磁罗盘,应用于消费级 IoT 设备中。频率超过 1kHz 时,陀螺仪噪声显著增加。
- QMI8610:可以外接磁罗盘,应用于消费级 IoT 设备中。
StarNeto(星网宇达):
器件属性
IMU 器件参数/IMU 器件名称 | XW-GS1830 | XW-IMU5100 |
传感器类型 | 3 轴陀螺仪 | 3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 |
工作温度(°C) | -40 … +80 | -40 … +80 |
产品尺寸(mm³) | 44.8 x 38.6 x 21.5 | 48 x 46 x 22 |
输入电压 VDD(V) | +5.0±0.1 | +5.0±0.1 |
以下参数适用条件:
- 详见器件纸质手册
陀螺仪 (Gyroscopes)
陀螺仪参数/IMU 器件名称 | XW-GS1830 | XW-IMU5100 |
动态量程(°/sec)<br /> | ±400 | ±400 |
灵敏度(LSB/°/sec)<br /> | <2 | <2 |
敏感度温漂(%) | ㅤ | ㅤ |
标度因数非线性(% FS) | ㅤ | ㅤ |
零偏重复性(°/sec) | <5 | <=5 |
零偏稳定性(°/hr) | <4 | <4 |
角度随机游走误差(°/√hr) | <0.3 | <0.3 |
温度漂移系数(°/h) | <=20 | <=20 |
线性加速度敏感系数(°/sec/g) | ㅤ | ㅤ |
输出噪声(°/sec rms) | ㅤ | ㅤ |
速率噪声密度(°/sec/√Hz rms) | ㅤ | ㅤ |
陀螺仪最大采样频率(Hz) | 200 | 200 |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ | ㅤ |
加速度计 (Accelerometers)
加速度计参数/IMU 器件名称 | XW-IMU5100 |
动态量程(g)<br /> | 30/4 |
灵敏度(mg/LSB)<br /> | 10/1 |
敏感度温漂(%/°C)<br /> | ㅤ |
标度因数非线性(ppm) | <3000/ <1000 |
零偏重复性(mg) | 0.5/0.3 |
零偏稳定性(mg)<br /> | 100/30 |
速率随机游走误差(m/sec/√hr) | ㅤ |
温度漂移系数(mg/°C)<br /> | <=2/ <=1 |
输出噪声(mg rms)<br /> | ㅤ |
速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br /> | ㅤ |
加速度计最大采样频率(Hz)<br /> | 200 |
传感器谐振频率(Hz) | ㅤ |
应用范围:
- XW-GS1830/ XW-IMU5100:高精度控制、航空航天、国防。
典型器件规格(PDF Datasheet)
TDK InvenSense(应美盛):
器件类型 | 器件名称 | Datasheet PDF | Datasheet Link |
3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计<br /> | MPU6000 | ||
ㅤ | MPU6050 | ㅤ | |
ㅤ | MPU6500 | ||
ㅤ | ICM20689 | ||
ㅤ | ICM42688 | ||
ㅤ | ICM45686 | ㅤ | ㅤ |
ㅤ | ICM40627 | ||
ㅤ | ICM40609 | ||
ㅤ | ICG20660 | ||
ㅤ | IIM46230 | ||
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 <br />+3 轴磁力计 | MPU9250 | ||
3 轴陀螺仪 | IAM20380 | ||
3 轴加速度计 | IIM42351 |
ST(意法半导体):
器件类型 | 器件名称 | Datasheet PDF | Datasheet Link |
3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计<br /> | LSM6DS3TR-C | ||
ㅤ | LSM6DSO | ||
ㅤ | LSM6DSL | ||
ㅤ | ASM330LHH | ||
ㅤ | ISM330DLC | ||
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 <br />+3 轴磁力计 | LSM9DS0 | ||
2 轴加速度计 | IIS2ICLX | ||
3 轴加速度计 | AIS2IH | ||
2 轴陀螺仪 | L2G2IS | ㅤ | ㅤ |
3 轴陀螺仪 | A3G4250D |
Bosch(博世):
器件类型 | 器件名称 | Datasheet PDF | Datasheet Link |
3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计 | BMI088 | ||
ㅤ | BMI055 | ||
ㅤ | BMI323 |
ADI:
器件类型 | 器件名称 | Datasheet PDF | Datasheet Link |
3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计 | ADIS16365 | ||
ㅤ | ADIS16375 | ||
ㅤ | ADIS16446 | ||
ㅤ | ADIS16470 | ||
ㅤ | ADIS16475 | ||
ㅤ | ADIS16489 | ||
ㅤ | ADIS16495 | ||
ㅤ | ADIS16497 | ||
ㅤ | ADIS16507 | ||
ㅤ | ADXC1500 | ||
1 轴加速度计(模拟输出)<br /> | ADXL103 | ||
ㅤ | ADXL1002 | ||
1 轴加速度计(数字输出) | ADIS16209 | ||
2 轴加速度计(模拟输出) | ADXL203/AD22037/AD22038 | ||
ㅤ | ADXL206 | ||
2 轴加速度计(数字输出)<br /> | ADXL213 | ||
ㅤ | ADIS16006 | ||
3 轴加速度计(数字输出)<br /> | ADXL314 | ||
ㅤ | ADXL345 | ||
ㅤ | ADXL367 | ||
ㅤ | ADIS16240 | ||
3 轴加速度计(模拟输出)<br /> | ADXL316 | ||
ㅤ | ADXL354 | ||
1 轴陀螺仪(数字输出)<br /> | ADIS16260 | ||
ㅤ | ADIS16060 | ||
ㅤ | ADIS16137 | ||
1 轴陀螺仪(模拟输出) | ADXRS642 | ||
2 轴陀螺仪 | ADXRS290 |
NXP:
器件类型 | 器件名称 | Datasheet PDF | Datasheet Link |
3 轴加速度计 | FXLS8971CF | ||
ㅤ | FXLS8961AF | ||
ㅤ | MMA8451Q | MMA8451Q.pdf<br /> |
Honeywell:
器件类型 | 器件名称 | Datasheet PDF | Datasheet Link |
3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计 | HG1125/HG1126 | ||
ㅤ | HG5700 |
QST(上海矽睿):
器件类型 | 器件名称 | Datasheet PDF | Datasheet Link |
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 <br />+3 轴磁力计 | QMI8658 | [13-52-25 QMI8658A Datasheet Rev A.pdf](assets/13-52-25 QMI8658A Datasheet Rev A-20230228151757-n5eilfx.pdf) | |
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 | QMI8610 | [QMI8610 Datasheet1.pdf](assets/QMI8610 Datasheet1-20230228151823-sgs7dq8.pdf) | |
3 轴加速度计 | QMA6100P | ㅤ | ㅤ |
器件规格总表
[MEMS IMU器件选型表.xlsx](assets/MEMS IMU器件选型表-20230306193127-u32ndms.xlsx)
参考内容
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