MEMS IMU器件选型参考表(部分)

MEMS IMU器件选型参考表(部分)

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主流 IMU 厂商器件

选型要素:
  • 器件的用途,如消费级飞控、工业级飞控、手持设备、体感交互设备等。
  • 器件的性能,相关参数。
  • 器件的应用市场,发展迭代。
  • TDK InvenSense
    • MEMS 加速度计,角速度计,磁力计,六轴/九轴厂商,有广泛使用的 IMU MPU6050,6500,9250,价位中等(也有更贵的高性能的 ICM 系列)
      产品选型链接:SmartMotion® | TDK
  • NXP
    • MEMS 加速度计,角速度计,磁力计,六轴/九轴厂商,主要为工业界提供高可靠性的 IMU 器件,这里选择分立式加速度计器件

IMU 参数、单位以及对应的含义

注:这里以 ADIS16465 器件的 Datasheet 作为例子,案例参考:ADIS16465 (Rev. C) (analog.com)

器件属性

  • 传感器类型
    • 分立器件或者是集成器件类型,支持的测量轴数。
  • 工作温度°C
    • 器件正常工作的温度范围。
  • 封装尺寸mm³
    • 常见器件的封装尺寸有 QFP、QFN、LGA、BGA 等。
  • 输入电压 VDDV
    • 器件正常工作的电压范围。

陀螺仪 (Gyroscopes)

  • 动态量程 (dynamic range):°/sec
    • 陀螺仪的角速度动态量程。
  • 灵敏度 (sensitivity):LSB/°/sec
    • 陀螺仪的最大角速度取样精度。
  • 敏感度温漂 (sensitivity error over temperature/ sensitivity temperature drift):%
    • 敏感度随温度的改变,通常用百分比或者 FS/K(满刻度每度)。
  • 标度因数非线性 (Nonlinearity):% FS
    • 陀螺仪的输出量和输入角速率之间的比值,用于表征陀螺实际输入与输出的偏离程度,决定拟合数据的可信度。
  • 零偏重复性 (bias repeatability):°/sec
    • 是指在同样条件下及规定时间间隔内,重复测量陀螺零偏之间的一致程度,以各次测试得到的零偏的标准差表示。
  • 零偏稳定性 (bias stability):°/hr
    • 主要针对角速度计的参数,代表零偏在较长时间下的随机游走。
  • 角度随机游走误差 (bias angular random walk):°/√hr
    • 陀螺仪的角度的随机噪声。即陀螺仪从零时刻起累积的总角增量误差表现为随机游走。
  • 温度漂移系数 (zero-rate offset change over temperature/ bias error over temperature):°/sec
    • 零偏随温度改变的大小,越小代表陀螺仪的零偏随温度影响越小。
  • 线性加速度敏感系数 (linear acceleration effect):°/sec/g
    • 在任何方向上加速度计对于陀螺仪数据的影响。
  • 输出噪声 (output noise):°/sec rms
    • 陀螺仪的输出噪声。
  • 速率噪声密度 (rate noise density):°/sec/√Hz rms
    • 代表输出噪声与带宽的关系,直观的说就是影响对真实信号的辨识程度。(RMS:Root Mean Square 均方根)
      换算关系:output noise=RMS Noise=Spectral Density/√filtergun*BW (BW:带宽, filter gain: 滤波器的增益,RMS: root mean square 均方根)
  • 3dB 带宽 (3 dB bandwidth):Hz
    • 半功率点系统带宽。需要参考手册中的寄存器说明。
  • 陀螺仪最大输出频率 (max. effective gyro output frequency):Hz
    • 陀螺仪的最大采样频率。
  • 传感器谐振频率 (sensor resonant frequency):Hz
    • 陀螺仪的第一阶固有频率。

加速度计 (Accelerometers)

  • 动态量程 (dynamic range):g
    • 加速度计的加速度动态量程。
  • 灵敏度 (sensitivity):LSB/g
    • 加速度计的加速度取样精度。
  • 敏感度温漂 (sensitivity error over temperature/ sensitivity temperature drift):%
    • 敏感度随温度的改变,通常用百分比或者 FS/K(满刻度每度)。
  • 标度因数非线性 (Nonlinearity):% FS
    • 加速度计的输出值和输入加速度之间的比值,用于表征加速度计实际输入与输出的偏离程度,决定拟合数据的可信度。
  • 零偏重复性 (bias repeatability):mgm/sec2
    • 是指在同样条件下及规定时间间隔内,重复测量加速度计零偏之间的一致程度,以各次测试得到的零偏的标准差表示。
  • 零偏稳定性 (bias stability):μgm/sec2
    • 主要针对角速度计的参数,代表零偏在较长时间下的随机游走。
  • 速率随机游走误差 (bias velocity random walk):m/sec/√hr
    • 加速度计的角度/加速度计的速度的随机噪声。即加速度计从零时刻起累积的总角增量误差表现为随机游走。
  • 温度漂移系数 (zero-rate offset change over temperature/ bias error over temperature):mgm/sec2
    • 零偏随温度改变的大小,越小代表加速度计的零偏随温度影响越小。
  • 输出噪声 (output noise):mg rmsm/sec2 rms
    • 加速度计的输出噪声。
  • 噪声密度 (noise density):μg/√Hz rms
    • 代表输出噪声与带宽的关系,直观的说就是影响对真实信号的辨识程度。(RMS:Root Mean Square 均方根)
      换算关系:output noise=RMS Noise=Spectral Density/√filtergun*BW (BW:带宽, filter gain: 滤波器的增益,RMS: root mean square 均方根)
  • 3dB 带宽 (3 dB bandwidth):Hz
    • 半功率点系统带宽。需要参考手册中的寄存器说明。
  • 加速度计最大输出频率 (max. effective accel output frequency):Hz
    • 加速度计的最大采样频率。
  • 传感器谐振频率 (sensor resonant frequency):Hz
    • 加速度计的第一阶固有频率。
器件选型主要关注量程温漂以及噪声量产时间价格因素。

器件对比

注:
  • Markdown原生不支持双等号高亮,需要转换为HTML内嵌。
  • 类似参数器件一栏中,默认按照数字从小到大排序,有高亮标注的器件表示该器件为新款式,推荐用于新设计,上小标表示器件的推荐排名,NRND 标注表示不推荐用于新设计。
  • 高亮标注的器件的Datasheet在“典型器件规格”一栏中可以下载。
  • 由于不同厂商器件的 Datasheet 内容有差异,表格中的参数可能有缺失,部分 Datasheet 参数未统计到表格中。
  • 注意参数表的单位,可能会有不同,需要换算。

TDK InvenSense(应美盛)

器件属性

器件参数/典型器件名称
类似参数器件
==MPU6050==^1^
==MPU6500==^1^
ICM20600/ ICM20602/ ICM20608/ ==ICM20689==^1^
ICM-42605/ ICM-42670/ ==ICM42688-P==^1^/ <br />ICM42688-V/ ==ICM45686==^2^/ ICM45631/ ICM45605<br />
ICM40609-D/ ==ICM40627==^1^
==ICG20660==^1^/ ICG20660L
IIM46230/ IIM46234/ ==IIM42652==^1^<br />
MPU9150/ ==MPU9250==^1^
IIM42351/ ==IIM42352==^1^
==IAM20380==^1^/ IAM20380HT/ IAM20381/ <br />IAM20680HP/ IAM20680HT<br />
传感器类型
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计<br />+3 轴磁力计
3 轴加速度计
3 轴陀螺仪
工作温度(°C)<br />Temperature range<br />
-40 … +85<br />
-40 … +85
-40 … +85
-40 … +85
-40 … +85
-40 … +85
-40 … +85
-40 … +85
-40 … +105
-40 … +85
封装尺寸(mm³)<br />Package<br />
QFN<br />4.0 x 4.0 x 0.90<br />
QFN<br />3.0 x 3.0 x 0.90<br />
QFN<br />4.0 x 4.0 x 0.90<br />
LGA<br />2.5 x 3 x 0.91<br />
LGA<br />3 x 3 x 0.91
LGA<br />3 x 3 x 0.75
Module<br />23 x 23 x 8.5<br />
QFN<br />3.0 x 3.0 x 1.0<br />
LGA<br />2.5 x 3 x 0.91
LGA<br />3 x 3 x 0.75
输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br />
2.375 … 3.46<br />
1.8 … 3.3<br />
1.71 … 3.45<br />
1.71 … 3.6<br />
1.71 … 3.6<br />
1.71 … 3.45
3.0 … 3.6<br />
2.4 … 3.6<br />
1.71 … 3.6<br />
1.71 … 3.6<br />
以下参数适用条件:
  • MPU6050/ MPU6500/ MPU9250: V~DD~ = 2.5V, V~DDIO~ = 2.5V, T~A~=25°C, 除非另有说明.
  • ICM20689/ ICM40609-D/ ICM42688-P/ ICG20660: V~DD~ = 1.8 V, V~DDIO~ = 1.8 V, T~A~=25°C, 除非另有说明.
  • IIM46230: V~DD~ = 3.3V, V~DDIO~ = 3.3V, T~A~=25°C, 除非另有说明.
  • IAM20380/ IIM42351: V~DD~ = 1.8V, V~DDIO~ = 1.8V, T~A~ = 25°C, 除非另有说明.

陀螺仪 (Gyroscopes)

陀螺仪参数/IMU 器件名称
动态量程(°/sec)<br />Full-Scale Range<br />
±250/±500/±1,000/±2,000
±250/±500/±1,000/±2,000
±250/±500/±1000/±2000
±250/±500/±1,000/±2,000
±2,000/±1,000/±500/±250/<br />±125/±62.5/31.25/15.625<br />
±2,000/±1,000/±500/±250/<br />±125/±62.5/31.25/15.625<br />
±125/±250/±500
±480/±250
±250/±500/±1000/±2000
灵敏度(LSB/°/sec)<br />Sensitivity Scale Factor<br />
131/65.5/32.8/16.4<br />
131/65.5/32.8/16.4<br />
131/65.5/32.8/16.4<br />
131/65.5/32.8/16.4<br />
16.4/32.8/65.5/131/<br />262/524.3/1,048.6/2,097.2
16.4/32.8/65.5/131/<br />262/524.3/1,048.6/2,097.2
262/131/65.5
2^31^/480<br />2^31^/250<br />
131/65.5/32.8/16.4
敏感度温漂(%)<br />Sensitivity Scale Factor Variation Over Temperature<br />
±2
±4
±4
±1.5
±0.005
±0.045
±3
±0.1
标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity<br />
0.2
±0.1
±0.1
±0.1
±0.1
±0.1
±0.1
±0.1
±0.1
零偏重复性(°/sec)<br />
0.02
零偏稳定性(°/sec)<br />Initial ZRO Tolerance<br />
±20
±5
±5
±5
±0.5
±1
±5
0.0317<br />(1.9 dph)
-0.8
角度随机游走误差(°/√hr)
0.07
温度漂移系数(°/sec)<br />ZRO Variation Over Temperature
±20
±4
±30
±1.5
±0.005
±0.01
±5
±0.14
±1
线性加速度敏感系数(°/sec/g)<br />Linear Acceleration Sensitivity<br />
0.1
±0.015
输出噪声(°/sec rms)<br />Total RMS Noise<br />
0.05
0.1
0.1
(Bandwidth = 100 Hz)<br />0.028<br />
(Bandwidth = 100 Hz)<br />0.045<br />
0.075 (92Hz)/ 0.10 (176Hz)/<br />0.12 (250Hz)
<br />
速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Rate Noise Spectral Density<br />
0.005
0.01
0.01
0.006
0.0028
0.0045
0.0065 (10Hz)
0.0016
0.005 (-40°C to +85°C)<br />0.010 (-40°C to +85°C, <br />including lifetime drift)<br />
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth
16,000
16,000 (low-pass path Max)<br />8,000 (high-pass path Max)
1,200
100
陀螺仪最大输出频率(Hz)<br />OUTPUT DATA RATE<br />
8,000
8,000
8,000
500 (Standard mode)/<br />8,000 (Low-Noise mode)<br />
32,000
32,000
8,000
1,000
8,000
传感器谐振频率(Hz)

加速度计 (Accelerometers)

加速度计参数/IMU 器件名称
动态量程(g)<br />Full-Scale Range<br />
±2/±4/±8/±16
±2/±4/±8/±16
±2/±4/±8/±16
±2/±4/±8/±16
±16/±8/±4/±2<br />
±32/±16/±8/±4
±2/±4/±8/±16
±16/±8/±4/±2
±16/±8/±4/±2
灵敏度(LSB/g)<br />Sensitivity Scale Factor<br />
16,384/8,192/4,096/2,048
16,384/8,192/4,096/2,048
16,384/8,192/4,096/2,048
16,384/8,192/4,096/2,048
2,048/4,096/8,192/16,384
1,024/2,048/4,096/8.192
16,384/8,192/4,096/2,048
2^31^/16 2^31^/8<br />2^31^/4 2^31^/2<br />
2,048/4,096/8.192/16,384
敏感度温漂(%/°C)<br />Sensitivity Change vs. Temperature<br />
±0.02
±0.026
±0.026
±1
±0.005
±0.007
±2.5
±0.2
±0.005
标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity<br />
0.5
±0.5
±0.5
±0.5
±0.1
±0.1
±0.5
±0.05
±0.1
零偏重复性(mg)
零偏稳定性(mg)<br />ZERO-G OUTPUT Initial Tolerance<br />
±50 (X, Y)/ ±80 (Z)
±60
±60 (X, Y)/ ±80(Z)
±20
±20
±40 (X, Y)/ ±65 (Z)
7 (X, Y)/ 15 (Z)
±20
速率随机游走误差(m/sec/√hr)
0.015
温度漂移系数(mg)<br />Zero-G Level Change vs. Temperature<br />
±35 (X, Y)/ ±60 (Z)
±0.64 (X, Y)/ ±1 (Z)
±1.5
±0.5 (X, Y)/ ±0.75 (Z)
±0.15
±0.15
±50
±2
±0.15
输出噪声(mg rms)<br />RMS Noise
(Bandwidth = 100 Hz)<br />0.65 (X, Y)/ 0.70 (Z)<br />
(Bandwidth = 100 Hz)<br />1.00<br />
(Bandwidth = 100 Hz)<br />2<br />
(Bandwidth = 100 Hz)<br />0.70<br />
速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Noise Power Spectral Density<br />
400
300
300
150
65 (X, Y)/ 70 (Z)<br />
100
220
41
70
3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br />
1,046 (Low-Noise mode)
16,000 (LN Mode Max)<br />
16,000 (low-pass path Max)<br />8,000 (high-pass path Max)
1,046.0
100
4,000
加速度计最大输出频率(Hz)<br />OUTPUT DATA RATE
1,000
500 (Standard mode)/<br />4,000 (Low-Noise mode)<br />
500 (Low power)/<br />4,000 (Low noise)
500 (Standard mode)/<br />4,000 (Low-Noise mode)<br />
32,000
32,000
500 (Low power)/<br />4,000 (Low noise)
1,000
8,000
传感器谐振频率(Hz)
<br />
器件命名规则:
    应用范围
    • MPU6000:全球首款6轴I²C运动跟踪器件,专为满足智能手机、平板电脑和可穿戴传感器的低功耗、低成本和高性能要求而设计,最高频率为 8KHz,MPU6000 的噪声问题较少,主要应用于入门级别飞控中。
    • MPU6500:第二代 6 轴运动跟踪设备,适用于智能手机、平板电脑、可穿戴传感器和其他消费市场。DJI N3 飞控采用 MPU6500 作为主 IMU 传感器。
    • MPU9250:外置三轴磁罗盘,主要应用于消费级飞控中。
    • ICM20689:用于汽车应用的6轴运动跟踪装置;它结合了3轴陀螺仪和3轴加速度计,应用于消费级飞控,如 Betaflight 等,在飞控中最高可运行 32KHz。 但是,当在 ICM 陀螺仪上启用 32KHz 模式时,更容易产生噪音。当将它们用于 8KHz 时就不那么敏感了。
    • ICM42688/ ICM42686:6轴MEMS运动跟踪器件,结合了3轴陀螺仪和3轴加速度计,主要应用于 pixhawk 系列飞控(雷迅 X5/X7/ 赫星 cube 飞控),以及高通 RB3,RB5 计算平台等。
    • ICM40627:基于MEMS的高精度运动传感器,带有捆绑的空气运动算法,用于指向和运动控制。
    • ICM40609-D:新出的 IMU,主要应用于飞控等
    • ICG20660:结合3轴陀螺仪、3轴加速度计的6轴运动跟踪装置,JOUAV NP205 飞控主 IMU
    • IAM20380:主要用于汽车自动驾驶领域。
    • IIM42351/ IIM46230:主要用于工业领域。

    ST(意法半导体)

    器件属性

    器件参数/典型器件名称
    L2G2IS
    类似参数器件
    ==LSM6DS3TR-C==^1^/ ==LSM6DSL==^2^/ LSM6DSM/ ==LSM6DSO==^3^/ LSM6DSO16IS/ <br />LSM6DSO32/ LSM6DSO32X/ LSM6DSOP/ LSM6DSOX/ <br />LSM6DSRX/ LSM6DST/ LSM6DSTX/ LSM6DSV/ <br />LSM6DSV16B/ LSM6DSV16BX/ LSM6DSV16X<br />
    ==ASM330LHH==^2^/ ASM330LHHX/ ==ISM330IS==^1^/ <br />ISM330DLC/ ISM330DHCX<br />
    ==LSM9DS0==^1^
    ==IIS2ICLX==^1<br />^NRND: AIS2120SX
    AIS25BA/ AIS2DW12/ ==AIS2IH==^1^/ AIS328DQ/ AIS3624DQ (Automotive)<br />IIS3DHHC/ IIS2ICLX/ IIS328DQ/ IIS2DLPC/ <br />IIS2DH/ IIS2DLPC/ IIS328DQ/ IIS3DHHC/ IIS3DWB (Industrial)<br />LIS25BA/ LIS2DE12/ LIS2DH12/ LISDU12/ LISDS12 /LISDTW12/ <br />LIS2HH12/ LIS2DUX12/ LIS2DUXS12/ LIS2DW12/ LIS25BA/ LIS331DLH/ <br />LIS3DH/ LIS3DHH<br />H3LIS100DL/ H3LIS200DL/ H3LIS331DL (Consumer)<br />MIS2DH (Medical)<br />NRND: LIS2DH/ LIS2DW
    NRND: L2G2IS
    ==A3G4250D==^1^ (Automotive)/ I3G4250D (Industrial)<br />NRND: L3GD20H (Consumer)
    传感器类型
    3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
    3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
    3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 +<br />3 轴磁力计
    2 轴加速度计
    3 轴加速度计
    2 轴陀螺仪
    3 轴陀螺仪
    工作温度(°C)<br />Temperature range<br />
    -40 … +85<br />
    -40 … +85
    -40 … +85<br />
    -40 … +115
    -40 … +85<br />
    封装尺寸(mm³)<br />LGA package<br />
    2.5 x 3.0 x 0.86<br />
    2.5 x 3.0 x 0.86
    4.0 x 4.0 x 1.0
    2 x 2 x 0.93
    4 x 4 x 1.1
    输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br />
    1.71 … 3.6<br />
    1.71 … 3.6<br />
    2.4 … 3.6<br />
    1.62 … 3.6
    2.4 … 3.6<br />
    以下参数适用条件:
    • LSM6DS3TR-C: V~DD~ = 1.8 V, T = 25 °C 除非另有说明.
    • LSM9DS0: V~DD~ = 3.0 V, T = 25 °C 除非另有说明.
    • ISM330DLC: V~DD~ = 1.8 V, T = 25 °C 除非另有说明.
    • AIS2IH: V~DD~ = 3.0 V, T = -40 °C to +115 °C 除非另有说明. 该产品出场校正为 3.0 V
    • A3G4250D: V~DD~ = 3.0 V, T = -40... +85 °C, 除非另有说明

    陀螺仪 (Gyroscopes)

    陀螺仪参数/IMU 器件名称
    动态量程(°/sec)<br />Angular rate measurement range<br />
    ±125/±250/±500/±1,000/±2,000
    ±245/±500/±2,000
    ±125/±250/±500/±1,000/±2,000
    ±245
    灵敏度(LSB/°/sec)<br />Angular rate sensitivity<br />
    4.375/8.75/17.50/35/70<br />
    8.75/17.50/70
    4.375/8.75/17.50/35/70<br />
    8.75 (mdps/digit)
    敏感度温漂(%/°C)<br />Angular rate sensitivity change vs. temperature<br />
    ±0.007
    ±2
    ±0.007
    ±2
    标度因数非线性(% FS)<br />Non linearity<br />
    0.2
    零偏重复性(°/sec)
    零偏稳定性(°/sec)<br />Angular rate zero-rate level<br />
    ±3
    ±10/±15/±25
    ±2
    ±25
    角度随机游走误差(°/√hr)
    温度漂移系数(°/sec/°C)<br />Angular rate typical zero-rate level change vs. temperature<br />
    ±0.05
    ±0.015
    ±0.03<br />
    线性加速度敏感系数(°/sec/g)
    输出噪声(°/sec rms)<br />Gyroscope RMS noise <br />
    0.075
    0.075
    速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Rate noise density<br />
    0.005
    0.038
    0.03
    3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br />
    937
    937
    陀螺仪最大输出频率(Hz)<br />Angular rate output data rate Max
    6,664
    760
    6,664
    840
    传感器谐振频率(Hz)

    加速度计 (Accelerometers)

    加速度计参数/IMU 器件名称
    动态量程(g)<br />Linear acceleration measurement range<br />
    ±2/±4/±8/±16
    ±2/±4/±8/±16
    ±2/±4/±8/±16
    ±2/±4/±8/±16
    ±0.5/±1/±2/±3
    灵敏度(mg/LSB)<br />Linear acceleration sensitivity<br />
    0.061/0.122/0.244/0.488
    0.061/0.122/0.244/0.732
    0.061/0.122/0.244/0.488
    0.244/0.488/0.976/1.952<br />(High-Performance Mode)<br />0.976/1.952/3.904/7.808<br />(Low-Power Mode)
    0.015/0.031/0.061/0.122
    敏感度温漂(%/°C)<br />Linear acceleration sensitivity change vs. temperature<br />
    ±0.01
    ±1.5
    ±0.01
    ±0.01
    ±0.01±0.012
    标度因数非线性(% FS)
    ±0.3
    0.1
    零偏重复性(mg)
    零偏稳定性(mg)<br />Linear acceleration zero-g level offset accuracy<br />
    ±40
    ±60
    ±40
    ±20
    ±8
    速率随机游走误差(m/sec/√hr)
    温度漂移系数(mg/°C)<br />Linear acceleration zero-g level change vs. temperature<br />
    ±0.5
    ±0.5
    ±0.1
    ±0.2
    ±0.020±0.075
    输出噪声(mg rms)<br />Acceleration RMS noise in normal/low-power mode<br />
    1.7/2.0/2.4/3.0
    1.8/2.0/2.4/3.0
    1.6/2.1/3.0/5.5<br />(Low-Power Mode)<br />
    速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Acceleration noise density in high-performance mode<br />
    90/90/90/130
    75/80/90/130
    90
    15/ 30 (Max)
    3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br />
    3,332 (low-pass path Max)<br />1,666 (high-pass path Max)
    773
    400 (low-pass path Max)<br />200 (high-pass path Max)
    260
    加速度计最大输出频率(Hz)<br />Linear acceleration output data rate Max
    6,664
    760
    6,664
    800
    833
    传感器谐振频率(Hz)<br />Sensor resonant frequency<br />
    900
    器件命名规则:
    • A 开头的器件应用于汽车领域
    • I 开头的器件应用于工业领域
    • L/H 开头的器件应用于消费级领域
    应用范围
    ST 系列的 iNEMO 系统级封装 (SiP) 在 6 轴单片式解决方案内整合了加速度计和陀螺仪。多个传感器输出的集成确保了运动感测系统的高精度,适用于要求严苛的应用,如增强型手势识别、游戏、增强实境、室内导航和基于本地化的服务。
    • LSM6DS3TR:一款系统级封装,包含一个3D数字加速度计和一个3D数字陀螺仪,主要应用于体感交互、穿戴式动作捕捉设备等。
    • LSM9DS0:具有3D数字线性加速度传感器和3D数字角速率传感器(3D数字磁传感器)的系统级封装,主要应用于体感交互、穿戴式动作捕捉设备等。
    • ISM330DLC:一种系统级封装器件,它具有专为工业4.0应用而量身定制的高性能3D数字加速度计和3D数字陀螺仪。
    • AIS2IH:MEMS数字输出运动传感器:适用于汽车应用的高性能3轴加速度计。
    • L2G2IS:双轴陀螺仪,不推荐用于新设计。
    • A3G4250D:低功耗 3 轴角速率传感器,能够在零速率水平下提供前所未有的稳定性,并在整个温度和时间范围内提供灵敏度。

    Bosch(博世)

    器件属性

    器件参数/典型器件名称
    类似参数器件
    BMI085/ ==BMI088==^1^
    BMI055/ ==BMI160==^1^
    BMI270/ BMI263/ BMI260/ ==BMI323==^1^
    传感器类型
    3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
    3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
    3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
    工作温度(°C)<br />Temperature range<br />
    -40 … +85
    -40 … +85
    -40 … +85
    封装尺寸(mm³)<br />LGA package<br />
    3 x 4.5 x 0.95
    3 x 4.5 x 0.95
    2.5 x 3.0 x 0.83
    输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br />
    2.4 … 3.6
    2.4 … 3.6
    1.71 ... 3.63
    以下参数适用条件:
    • BMI088/ BMI055: T~A~=25, BW_Accel=1kHz, V~DD~ = V~DDIO~ = 2.4 V, 除非另有说明.
    • BMI323: T~A~=25, V~DD~ = V~DDIO~ = 1.8 V, 除非另有说明.

    陀螺仪 (Gyroscopes)

    陀螺仪参数/IMU 器件名称
    动态量程(°/sec)<br />Measurement range<br />
    ±125/±250/±500/<br />±1,000/±2,000<br />
    ±125/±250/±500/<br />±1,000/±2,000<br />
    ±125/±250/±500/<br />±1000/±2000<br />
    灵敏度(LSB/°/sec)<br />Measurement sensitivity<br />
    262.144/131.072/65.536/<br />32.768/16.384<br />
    262.4/131.2/65.6/<br />32.8/16.4<br />
    262.144/131.072/65.536/<br />32.768/16.384<br />
    敏感度温漂(%)<br />Sensitivity Change over Temperature<br />
    ±0.03
    ±0.03
    ±0.02
    标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity
    ±0.05
    ±0.05
    0.15
    零偏重复性(°/sec)
    零偏稳定性(°/sec)<br />Zero-rate Offset<br />
    ±1
    ±1
    ±1
    角度随机游走误差(°/√hr)
    温度漂移系数(°/sec)<br />Zero-$\Omega$ Offset Change over Temperature <br />
    ±0.015
    ±0.015
    ±0.04
    线性加速度敏感系数(%)<br />
    <br />
    输出噪声(°/sec rms)<br />Output Noise<br />
    0.1
    0.1
    速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Output Noise Density<br />
    0.014
    0.014
    0.007
    3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br />
    523
    230
    563
    陀螺仪最大输出频率(Hz)<br />Data rate Max
    2,000
    2,000
    6,400
    传感器谐振频率(Hz)

    加速度计 (Accelerometers)

    加速度计参数/IMU 器件名称
    BMI055<br />
    动态量程(g)<br />Acceleration Range<br />
    ±3/±6/±12/±24<br />
    ±2/±4/±8/±16
    ±2/±4/±8/±16
    灵敏度(LSB/g)<br />Measurement sensitivity<br />
    10,920/5,460/2,730/1,365<br />
    1,024/512/256/128
    16,384/8,192/4,096/2,048
    敏感度温漂(%/°C)<br />Sensitivity Temperature Drift
    0.002
    ±0.02
    ±0.005
    标度因数非线性(% FS)
    0.5
    ±0.5
    0.1
    零偏重复性(mg)
    零偏稳定性(mg)<br />Zero-g offset<br />
    ±20<br />
    ±70
    ±35 (soldered)<br />±50 (soldered, over life time)<br />
    速率随机游走误差(m/sec/√hr)
    温度漂移系数(mg/°C)<br />Zero-g Offset Temperature Drift
    <0.2
    ±1
    ±0.3
    输出噪声(mg rms)<br />
    <br />
    速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Output Noise Density<br />
    175<br />
    150
    180
    3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br />
    280 (X, Y)/ 245 (Z)
    1,000
    1,677
    加速度计最大输出频率(Hz)<br />Data rate Max<br />
    1,600
    1,600
    传感器谐振频率(Hz)
    器件命名规则:
    应用范围
    Bosch 系列的 6 轴 IMU 性价比具有较大优势,主要应用于体感相机等消费级电子领域。
    • BMI088:主要应用于体感跟踪相机,比如小觅深度相机,RoboMaster 系列开发板等。
    • BMI055:主要应用于体感跟踪相机,比如英特尔的 Realsense T265、Realsense D455 等。

    ADI

    器件属性

    器件参数/典型器件名称
    类似参数器件
    ==ADIS16334==^1^/ ADIS16362/ ADIS16364/ ADIS16365/ <br />==ADIS16375==^2^
    ADIS16445/ ==ADIS16446==^1^/ ADIS16448/ ADIS16460/ <br />ADIS16465(-1/-2/-3)/ ADIS16467(-1/-2/-3)/ ==ADIS16470==^2^/ ==ADIS16475==^3^(-1/-2/-3)/ <br />ADIS16477(-1/-2/-3)/ ADIS16480/ ADIS16485/ ADIS16486/ <br />ADIS16488A/ ADIS16489/ ADIS16490/ ==ADIS16495==^4^(-1/-2/-3)/ <br />==ADIS16497==^5^(-1/-2/-3)<br />
    ==ADIS16500==^1^/ ==ADIS16505==^2^(-1/-2/-3)/ ==ADIS16507==^3^(-1/-2/-3)
    ADXL103/ ADXL1001/ ADXL1002/ ==ADXL1003==^1^/ <br />ADXL1004/ ==ADXL1005==^2^<br />
    ADIS16203/ ==ADIS16209==^1<br />^NRND: ADXL151/ ADXL180/ ADXL185B/ <br />ADXL189B/ ADXL195
    ==ADXL203==^2^(AD22035/ AD22037)/ ==ADXL206==^1^
    ==ADXL213==^1^/ ADIS16003/ ==ADIS16006==^2^/ ADIS16201<br />NRND: ADXL212/ ADXL251/ ADXL288/ ADXL295/
    ADXL312/ ADXL313/ ==ADXL314==^1^/ <br />ADXL343/ ADXL344/ ADXL345/ ADXL346/ <br />ADXL350/ ADXL355/ ADXL357/ ADXL362/ <br />ADXL363/ ==ADXL367==^2^/ ==ADXL371==^3^/ ADXL372/ <br />ADXL375/ ADIS16210/ ADIS16240<br />NRND: ADXL700
    ADXL316/ ADXL325/ ADXL326/ ADXL327/ <br />ADXL335/ ==ADXL354==^2^/ ==ADXL356==^1^/ <br />ADXL377<br />NRND: ADXL337
    ADXRS622/ ADXRS623/ ADXRS624/ ADXRS642/ <br />==ADXRS645==^1^/ ADXRS646/ ADXRS649/ ADXRS652/ <br />NRND: ADXRS620<br />
    ADIS16135/ ==ADIS16136==^2^/ ==ADIS16137==^1^/ <br />ADIS16260/ ADIS16265/ ADXRS450/ ADXRS453<br />NRND: ADXRS800/ ADXRS810/ ADXRS910/ ADIS16060<br />
    ==ADXRS290==^1^
    传感器类型
    3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
    3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
    3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
    1 轴加速度计(模拟输出)
    1 轴加速度计(数字输出)
    2 轴加速度计(模拟输出)
    2 轴加速度计(数字输出)
    3 轴加速度计(数字输出)
    3 轴加速度计(模拟输出)
    1 轴陀螺仪(模拟输出)<br />
    1 轴陀螺仪(数字输出)
    2 轴陀螺仪
    工作温度(°C)<br />Temperature range<br />
    -40 … +105
    -25 … +85 (ADIS16470)<br />-40 … +105 (Others)<br />
    -25 … +85 (ADIS16500)<br />-40 … +105 (Others)<br />
    -40 … +125
    -40 … +125
    -40 … +125<br />
    -40 … +85 (ADXL212/ ADXL213)<br />-40 … +125 (Others)
    -40 … +125 (ADXL314/ ADXL357/ ADIS16210)<br />-40 … +105 (ADXL312/ ADXL313/ ADXL345/ ADXL371/ ADXL372/ ADXL375)<br />-40 … +85 (Others)<br />
    -40 … +105 (ADXL316)<br />-40 … +125 (ADXL354)<br />-40 … +85 (Others)<br />
    -40 … +105
    -40 … +85 (ADIS16136)<br />-40 … +105 (Others)<br />
    -25 … +85
    封装尺寸(mm³)<br />Package<br />
    ?
    BGA<br />11 x 15 x 11<br />
    BGA<br />15 x 15 x 15<br />
    8-Terminal Ceramic LCC<br />5 x 5 x 2
    LGA<br />9.2 x 9.2 x 3.9
    8-Terminal Ceramic LCC<br />5 x 5 x 2
    LCC<br />5 x 5 x 2
    LFCSP<br />5 x 5 x 1.45
    LFCSP<br />4 x 4 x 1.45
    BGA<br />7 x 7 x 3
    LGA<br />8.2 x 8.2 x 5.2<br />
    cavity laminate<br />4.5 x 5.8 x 1.2
    输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br />
    3.0 … 3.6
    3.0 … 3.5
    3.0 … 3.6
    3.0 … 6.0
    3.0 … 3.6
    3.0 … 6.0
    3.0 … 6.0
    2.0 … 3.6
    1.8 … 3.6
    4.75 … 5.25
    4.75 … 5.25
    2.7 … 5.0
    注:
    • 以上集成式 MEMS IMU 器件中,ADIS16500 和 ADIS16470 的适用温度范围为-25 to 85°C,其他器件的适用温度范围为-40 to 105°C。
    以下参数适用条件
    • ADIS16375: T~A~ = 25°C, V~DD~ = 3.3 V, 角速度 = 0°/sec, 动态范围 = ±300°/sec ± 1 g, 除非另有说明.
    • ADIS16470/ ADIS16507: 案例温度 T~C~ = 25°C, V~DD~ = 3.3 V, 角速度 = 0°/sec, 动态范围 = ±2000°/sec ± 1 g, 除非另有说明.
    • ADXL103/ ADXL203/ AD22035/ AD22037: T~A~ = −40°C to +125°C, V~S~ = 5 V, C~X~ = C~Y~ = 0.1 µF, 加速度 = 0 g, 除非另有说明. 所有最大值参数和最小值参数都有保证. 所有典型参数都没有保证.
    • ADXL314: T~A~ = 25°C, V~S~ = 2.5 V, V~DD I/O~ = 2.5 V, 加速度 = 0 g, V~S~ 电容 (C~VS~) = 1 μF 坦, V~DD I/O~ 电容 (C~VDD I/O~) = 0.1 μF, ODR = 100 Hz, 除非另有说明.
    • ADXRS642: 所有最大值参数和最小值参数都有保证. 所有典型参数都没有保证. T~A~ = 25°C, V~S~ = AV~CC~ = V~DD~ = 5 V, V~RATIO~ = AV~CC~, 角速度 = 0°/sec, 带宽 = 80 Hz (C~OUT~ = 0.01 µF), I~OUT~ = 100 µA, ±1 g, 除非另有说明.
    • ADXRS290: T~A~ = 25°C. V~S~ = V~DD I/O~ = 3 V, 角速度 = 0°/sec, 带宽 = dc to 480 Hz, C~S~ = C~REG~ = C~I/O~ = C~CP~ = 1 µF, 数字模式, 温度传感器 = off, 除非另有说明. 所有最大值参数和最小值参数都有保证. 所有典型参数都没有保证.

    陀螺仪 (Gyroscopes)

    陀螺仪参数/IMU 器件名称
    动态量程(°/sec)<br />Dynamic Range<br />
    ±350
    ±2,000
    ±125/±500/±2,000
    ±250/±300
    ±50 (Min)/ ±80
    ±100
    灵敏度(LSB/°/sec)<br />Sensitivity<br />
    0.01311
    10 (16-bit)<br />655,360 (32-bit)<br />
    160/40/10 (16-bit)<br />10,485,760/2,621,440/655,360 (32-bit)<br />
    0.0110 (Min)/ 0.0122/ 0.0134 (Max)
    200
    敏感度温漂(%)<br />Sensitivity Error over Temperature<br />
    ±0.25
    ±0.5/±0.5/±0.3
    ±2
    ±3
    ±1
    标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity<br />
    ±0.025
    ±0.25
    0.2/0.2/0.2
    0.01
    0.1
    ±0.5
    零偏重复性(°/sec)<br />Bias Repeatability
    0.14 (X, Y)/ 1.4(Z)
    零偏稳定性(°/hr)<br />Bias In Run Stability<br />
    12
    8
    1.5 (X)/ 2.3 (Y)/ 1.7 (Z)<br />2.2 (X)/ 2.7 (Y)/ 1.6 (Z)<br />7.5 (X)/ 8.1 (Y)/ 4.9 (Z)<br />
    角度随机游走误差(°/√hr)<br />Bias Angular Random Walk<br />
    1.0
    0.34
    0.13 (X, Y)/ 0.19(Z)<br />0.15 (X, Y)/ 0.2(Z)<br />0.29 (X, Y)/ 0.32(Z)<br />
    温度漂移系数(°/sec)<br />Bias Error over Temperature
    ±0.005
    0.2
    ±0.3 (X, Y)/ ±0.7(Z)
    线性加速度敏感系数(°/sec/g)<br />Bias Linear Acceleration Effect
    ±0.013
    0.015
    0.572 × 10^−3^ (X)/ 1.02 × 10^−3^ (Y)/ 0.408 × 10^−3^ (Z)
    0.03
    ±0.1
    输出噪声(°/sec rms)<br />Bias Output Noise
    0.45
    0.17
    68 × 10^−3^ (X, Y)/ 104 × 10^−3^ (Z)<br />82 × 10^−3^ (X, Y)/ 116 × 10^−3^ (Z)<br />152 × 10^−3^ (X, Y)/ 181 × 10^−3^ (Z)<br />
    速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Bias Rate Noise Density<br />
    0.02
    0.008
    3.0 × 10^−3^ (X, Y)/ 4.3 × 10^−3^ (Z)<br />3.4 × 10^−3^ (X, Y)/ 4.6 × 10^−3^ (Z)<br />6.1 × 10^−3^ (X, Y)/ 7.0 × 10^−3^ (Z)<br />
    0.02
    0.04
    0.004
    3dB 带宽(Hz)<br />3 dB Bandwidth<br />
    330
    550
    480 (X, Y)/ 590(Z)<br />480 (X, Y)/ 590(Z)<br />573 (X, Y)/ 639(Z)<br />
    2,000
    1,000
    480 (Low-Pass)<br />11.3 (High-Pass)
    陀螺仪最大输出频率(Hz)
    传感器谐振频率(Hz)<br />Sensor Resonant Frequency<br />
    14,500
    66,000
    66,000 (X, Y)/ 78,000 (Z)
    15,000 (Min)/ 17,000/ 19,000 (Max)
    14,500

    加速度计 (Accelerometers)

    加速度计参数/IMU 器件名称
    ADIS16470<br />
    动态量程(g)<br />Dynamic Range<br />
    ±10/±18
    ±10/±20/±40<br />
    ±392
    ±1.7
    ±1.7 (Min)
    ±18 (Min)
    ±1.2
    ±200
    ±16 (Min)/ ±19
    灵敏度(LSB/g)<br />Sensitivity<br />
    1,220.703<br />(0.8192 mg/LSB)
    800 (16-bit)<br />52,428,800 (32-bit)<br />
    5,351,254 (32-bit)<br />
    960 (Min)/ 1,000/ 1,040 (Max)<br />mV/g<br />
    0.243 (Min)/ 0.244/ 0.245 (Max)
    94 (Min)/ 100/ 106 (Max)<br />mV/g
    27 (Min)/ 30/ 33 (Max)
    20.48
    50 (Min)/ 57/ 64 (Max)
    敏感度温漂(%)<br />Sensitivity Error over Temperature<br />
    ±0.1<br />
    ±0.06
    ±0.3
    8
    ±0.5
    标度因数非线性(% FS)<br />Nonlinearity<br />
    ±0.1/±0.5
    0.02/0.4/1.5
    0.25 (±19.6 m/sec2)/ 0.5 (±78.4 m/sec2, X)/<br />1.5 (±78.4 m/sec2, Y, Z)<br />
    ±0.2/±1.25 (Max)
    ±0.1/ ±0.2 (Max)
    ±0.2/±1.25 (Max)
    ±0.5
    ±0.5
    ±0.2
    零偏重复性(m/sec^2^)<br />Bias Repeatability<br />
    58.8 × 10^−3^
    零偏稳定性(mg)<br />Bias In Run Stability<br />
    0.13
    0.013
    0.125 (X, Y)/ 0.134 (Z)
    ±25
    ±125
    ±1,000 (X, Y)/ ±3,000 (Z)<br />
    速率随机游走误差(m/sec/√hr)<br />Bias Velocity Random Walk
    0.076
    0.037
    0.039 (X, Y)/ 0.033 (Z)
    温度漂移系数(mg)<br />Bias Error over Temperature
    ±0.1
    ±4<br />
    ±14.7 × 10^−3^
    ±0.1/±0.8 (Max)
    ±1
    ±20 (−40°C to +105°C)<br />±100 (+105°C to +125°C)
    输出噪声(mg rms)<br />Bias Output Noise
    1.5
    2.3
    24.8 (X, Y)/ 20.3 (Z)
    1/3 (Max)
    1.7
    0.2
    1 mV
    速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Bias Noise Density
    60
    100<br />
    880 (X, Y)/ 732 (Z)
    110
    0.19
    230
    160
    565 (X, Y)/ 680 (Z)
    210 (X, Y)/ 450 (Z)
    3dB 带宽(Hz)<br />3 dB Bandwidth<br />
    330
    600
    750
    2,500
    50
    2,500
    2,500
    3,200
    1,600 (X, Y)/ 550 (Z)
    加速度计最大输出频率(Hz)
    传感器谐振频率(Hz)<br />Sensor Resonant Frequency<br />
    5,500
    5,650 (X, Y)/ 5,250 (Z)
    5,500 (X, Y)/ 5,000 (Z)
    5,500
    5,500
    5,500
    5,500
    4,200
    器件命名规则:
    • ADIS 系列表示集成式 IMU 惯性器件,其中数字 AD 代表 ADI 前缀,I 表示 IMU 惯性器件,S 表示器件工作温度在(-25-85)℃,
    • ADXL 系列表示集成或分立式加速度计器件,其中数字 AD 代表 ADI 前缀,L 表示加速度计(Accelerator),
    • ADXR 系列表示集成或分立式陀螺仪器件,其中数字 AD 代表 ADI 前缀,R 表示角速度计(Rotate),S 表示器件工作温度在(-25-85)℃,
    • ADIS 系列表示集成式 IMU 惯性器件,其中数字 AD 代表 ADI 前缀,I 表示 IMU 惯性器件,S 表示器件工作温度在(-25-85)℃,
    应用范围
    ADI 公司的惯性测量单元(IMU)传感器以多轴方式组合精密陀螺仪、加速度计、磁力计和压力传感器。即便是在极为复杂的应用和动态环境下,也能可靠地检测并处理多个自由度。这些即插即用型解决方案包括完整的出厂校准、嵌入式补偿和传感器处理以及简单的可编程接口。
    • ADIS16375:JOUAV AP101 飞控主 IMU,薄型、低噪声6自由度惯性传感器,推荐用于新设计。
    • ADIS16470:主要应用于高端消费级/工业级飞控,如雷迅的 X7 pro 飞控。宽动态范围微型 MEMS IMU,推荐用于新设计。
    • ADIS16507(-1/-2/-3):精密微型 MEMS IMU,主要用于对精度要求较高的工业场景中。
    • AD22035/AD22037:应用于 JOUAV NP205 飞控中。精密±1.7 g、±5 g、±18 g 双轴iMEMS® 加速度计,推荐用于新设计。
    • ADXL103:精密 ±1.7g 或±18 g 单轴iMEMS® 加速度计,推荐用于新设计。
    • ADXL314:±200 g 范围、3轴数字加速度计,推荐用于新设计。
    • ADXRS642:模拟输出,JOUAV NP205 飞控 IMU,具有振动抑制特性的±250°/s偏航角速度陀螺仪,推荐用于新设计。
    • ADXRS290:ADI 唯一一款双轴陀螺仪,用于稳定应用的超低噪声、双轴MEMS陀螺仪,推荐用于新设计。<br />

    NXP

    器件属性

    器件参数/典型器件名称
    类似参数器件
    ==FXLS8971CF==^1^/ ==FXLN83xxQ==^2^/ FXLS90xxx/ FXLS8471Q/ <br />FXLS8962AF/ FXLS8974CF/ FXOS8700CQ<br />
    ==FXLS8961AF==^1^/ FXLS90xxx/ FXLS93xxx/ FXLS8471Q/ FXLS8962AF/ <br />FXLS8964AF/ FXLS8967AF/ MMA26xx/ MMA69xxKQ<br />
    ==MMA8451Q==^1^/ MMA8452Q/ MMA8453Q/ MMA8491Q/ <br />MMA8652FC/ MMA8653FC<br />
    传感器类型
    3 轴加速度计
    3 轴加速度计
    3 轴加速度计
    工作温度(°C)<br />Temperature range<br />
    -40 … +105
    -40 … +105
    -40 … +85
    封装尺寸(mm³)<br />QFN package<br />
    3 x 3 x 1.25
    3 x 3 x 1.25
    3 x 3 x 1.0
    输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br />
    1.71 … 3.6
    1.71 … 3.6
    1.95 … 3.6
    以下参数适用条件:
    • FXLS8971CF/ FXLS8961AF: V~DDA~ = 1.8 V to 3.0 V; T~amb~ = −40 °C to +105 °C 除非另有说明
    • MMA8451Q: V~DD~ = 2.5 V, V~DDIO~ = 1.8 V, T = 25 °C 除非另有说明

    加速度计 (Accelerometers)

    加速度计参数/IMU 器件名称
    动态量程(g)<br />Full-scale measurement range
    ±2/±4/±8/±16<br />
    ±2/±4/±8/±16<br />
    ±2/±4/±8
    灵敏度(mg/LSB)<br />Nominal sensitivity<br />
    0.98/1.95/3.91/7.81
    0.98/1.95/3.91/7.81
    4096/2048/1024<br />counts/g
    敏感度温漂(%/°C)<br />Temperature coefficient of sensitivity<br />
    ±0.01<br />
    ±0.01<br />
    ±0.008
    标度因数非线性(% FS)
    零偏重复性(mg)
    零偏稳定性(mg)<br />Zero-g offset, post-board mount, FSR<br />≤ ±8g<br />
    ±30<br />
    ±30<br />
    ±17
    速率随机游走误差(m/sec/√hr)
    温度漂移系数(mg/°C)<br />Zero-g offset temperature coefficient, <br />post-board mount<br />
    0.15 (X, Y)/ 0.15 (Z)
    0.25 (X, Y)/ 0.25 (Z)
    ±0.15
    输出噪声(mg rms)<br />Noise RMS, Low-Power Mode, <br />FSR ≤ ±4 g, all ODR ranges<br />
    <br />
    7.8 (X, Y)/ 9.4 (Z)
    126 (normal)<br />99 (low-noise)<br />
    速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Noise Spectral Density, High Performance Mode, <br />FSR ≤ ±4 g, 25Hz ≤ ODR ≤ 3200 Hz<br />
    <br />
    217 (X, Y)/ 257 (Z)
    3dB 带宽(Hz)<br />Maximum signal bandwidth<br />
    1,600
    1,600
    266.7 (Min)/ 400 (Max)
    加速度计最大输出频率(Hz)<br />Maximum ODR<br />
    3,200
    3,200
    800
    传感器谐振频率(Hz)
    器件命名规则:
      应用范围
      恩智浦提供基于微机电系统(MEMS) 的差异化加速度传感器产品组合,以满足不断扩大的汽车、医疗保健和工业需求。
      • FXLS8971CF:主要应用于 IoT 和工业医疗领域。
      • FXLS8961AF:主要应用于自动驾驶领域。

      Honeywell

      器件属性

      器件参数/典型器件名称
      类似参数器件
      HG1125/ HG1126/ HG1700/ <br />HG1900/ HG1930<br />
      HG5700/ HG9900
      传感器类型
      3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
      3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
      工作温度(°C)<br />Temperature range<br />
      -40 … +71
      -54 … +85
      器件尺寸(mm³)<br />Package<br />
      <0.6in^3^, 31 D x 11.7 H
      46in^3^
      输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br />
      +3.3VDC +7%/- 3%<br />
      +15V, +5V
      以下参数适用条件:
      • 全温度范围内适用

      陀螺仪 (Gyroscopes)

      陀螺仪参数/IMU 器件名称
      动态量程(°/sec)<br />3-Axis Gyroscope Operating Range<br />
      4000
      1074
      灵敏度(LSB/°/sec)<br />
      <br />
      敏感度温漂(%)
      标度因数非线性(% FS)
      零偏重复性(°/hr)
      120/240/360
      0.035/0.070/0.140
      零偏稳定性(°/hr)
      7/10/20
      0.01/0.02/0.04
      角度随机游走误差(°/√hr)
      0.30/0.40/0.50
      0.006/0.012/0.025
      温度漂移系数(°/sec)
      线性加速度敏感系数(°/sec/g)
      输出噪声(°/sec rms)
      速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)
      3dB 带宽(Hz)
      145Hz (configurable to 260Hz)
      陀螺仪最大输出频率(Hz)
      600Hz/100Hz (configurable to 1800Hz/300Hz)
      传感器谐振频率(Hz)

      加速度计 (Accelerometers)

      加速度计参数/IMU 器件名称
      动态量程(g)<br />3-Axis Accelerometer Operating Range<br />
      ±96/ ±200G or ±400G<br />
      ±37
      灵敏度(mg/LSB)<br />
      <br />
      敏感度温漂(%/°C)<br />
      <br />
      标度因数非线性(% FS)
      零偏重复性(mg)
      1.5/2.0/3.0
      200/300/300
      零偏稳定性(mg)<br />
      0.035/0.04/0.05
      35/50/50
      速率随机游走误差(m/sec/√hr)
      0.18/0.24/0.30
      0.065/0.065/0.065
      温度漂移系数(mg/°C)<br />
      <br />
      输出噪声(mg rms)<br />
      <br />
      速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />
      <br />
      3dB 带宽(Hz)<br />
      145Hz (configurable to 260Hz)<br />
      加速度计最大输出频率(Hz)
      600Hz/100Hz (configurable to 1800Hz/300Hz)
      传感器谐振频率(Hz)
      应用范围:
      • HG1125/HG1126:小型无人机,武器装备等。
      • HG5700:武器装备,无人机,稳定平台,钻探等。

      QST(上海矽睿)

      器件属性

      器件参数/典型器件名称
      QMA6100P
      传感器类型
      3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 +<br />3 轴磁力计
      3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
      3 轴加速度计
      工作温度(°C)<br />Temperature range<br />
      -40 … +85
      -40 … +85
      封装尺寸(mm³)<br />LGA package<br />
      2.5 x 3.0 x 0.86
      3.3 x 3.3 x 1.0
      输入电压 VDD(V)<br />Supply voltage (VDD)<br />
      1.71 … 3.6
      2.4 … 3.6
      以下参数适用条件:
      • QMI8658/ QMI8610: V~DD~ = V~DDIO~ = 1.8 V, T = 25°C 除非另有说明

      陀螺仪 (Gyroscopes)

      陀螺仪参数/IMU 器件名称
      动态量程(°/sec)<br />Scale Setting<br />
      ±16/±32/±64/±128/<br />±256/±512/±1,024/±2,048<br />
      ±32/±64/±128/±256/<br />±512/±1,024/±2,048/±2560<br />
      灵敏度(LSB/°/sec)<br />Sensitivity<br />
      2048/1024/512/256/<br />128/64/32/16<br />
      1024/512/256/128/<br />64/32/16/8<br />
      敏感度温漂(%/°C)<br />Temperature Coefficient of Sensitivity (TCS)<br />
      ±0.05 (X, Y)/ ±0.01 (Z)
      ±0.05 (X, Y)/ ±0.01 (Z)
      标度因数非线性(% FS)<br />Non-Linearity
      ±0.2
      0.1
      零偏重复性(°/sec)
      零偏稳定性(°/sec)<br />Initial Offset Tolerance<br />
      ±10
      ±10 (X, Y)/ ±5 (Z)
      角度随机游走误差(°/√hr)
      温度漂移系数(°/sec)
      线性加速度敏感系数(°/sec/g)<br />g-Sensitivity<br />
      ±0.1
      ±0.1
      输出噪声(°/sec rms)
      速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)<br />Noise Density<br />
      0.013
      0.01
      3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth
      1,973.0
      500
      陀螺仪最大采样频率(Hz)<br />ODR (Accel + Gyro)<br />
      7,174.4
      1,000
      传感器谐振频率(Hz)

      加速度计 (Accelerometers)

      加速度计参数/IMU 器件名称
      QMA6100P
      动态量程(g)<br />Scale Setting
      ±2/±4/±8/±16<br />
      ±2/±4/±8/±16<br />
      灵敏度(mg/LSB)<br />Sensitivity<br />
      16,384/8,192/4,096/2,048<br />
      16,384/8,192/4,096/2,048<br />
      敏感度温漂(%/°C)<br />Temperature Coefficient of Sensitivity (TCS)
      ±0.04<br />
      ±0.01
      标度因数非线性(% FS)<br />Non-Linearity<br />
      ±0.75
      ±0.75
      零偏重复性(mg)
      零偏稳定性(mg)<br />Initial Offset Tolerance<br />
      ±100<br />
      ±50 (X, Y)/ ±100 (Z)
      速率随机游走误差(m/sec/√hr)
      温度漂移系数(mg/°C)<br />
      <br />
      输出噪声(mg rms)<br />
      <br />
      速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />Noise Density<br />
      150<br />
      70
      3dB 带宽(Hz)<br />3dB Bandwidth<br />
      1,973.0
      500
      加速度计最大采样频率(Hz)<br />ODR (Accel + Gyro)<br />
      7,174.4<br />
      1,000
      传感器谐振频率(Hz)
      应用范围:
      国产 IMU 系列,QMI 系列 IMU 带自校准传感器融合和系统级定位精度,集成惯性传感器数据预处理引擎,可到达国际主流品牌同等性能与可靠性,是高性能消费品和工业应用的理想选择。
      • QMI8658:内置三轴磁罗盘,应用于消费级 IoT 设备中。频率超过 1kHz 时,陀螺仪噪声显著增加。
      • QMI8610:可以外接磁罗盘,应用于消费级 IoT 设备中。

      StarNeto(星网宇达):

      器件属性

      IMU 器件参数/IMU 器件名称
      XW-GS1830
      XW-IMU5100
      传感器类型
      3 轴陀螺仪
      3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
      工作温度(°C)
      -40 … +80
      -40 … +80
      产品尺寸(mm³)
      44.8 x 38.6 x 21.5
      48 x 46 x 22
      输入电压 VDD(V)
      +5.0±0.1
      +5.0±0.1
      以下参数适用条件:
      • 详见器件纸质手册

      陀螺仪 (Gyroscopes)

      陀螺仪参数/IMU 器件名称
      XW-GS1830
      XW-IMU5100
      动态量程(°/sec)<br />
      ±400
      ±400
      灵敏度(LSB/°/sec)<br />
      <2
      <2
      敏感度温漂(%)
      标度因数非线性(% FS)
      零偏重复性(°/sec)
      <5
      <=5
      零偏稳定性(°/hr)
      <4
      <4
      角度随机游走误差(°/√hr)
      <0.3
      <0.3
      温度漂移系数(°/h)
      <=20
      <=20
      线性加速度敏感系数(°/sec/g)
      输出噪声(°/sec rms)
      速率噪声密度(°/sec/√Hz rms)
      陀螺仪最大采样频率(Hz)
      200
      200
      传感器谐振频率(Hz)

      加速度计 (Accelerometers)

      加速度计参数/IMU 器件名称
      XW-IMU5100
      动态量程(g)<br />
      30/4
      灵敏度(mg/LSB)<br />
      10/1
      敏感度温漂(%/°C)<br />
      标度因数非线性(ppm)
      <3000/ <1000
      零偏重复性(mg)
      0.5/0.3
      零偏稳定性(mg)<br />
      100/30
      速率随机游走误差(m/sec/√hr)
      温度漂移系数(mg/°C)<br />
      <=2/ <=1
      输出噪声(mg rms)<br />
      速率噪声密度(μg/√Hz rms)<br />
      加速度计最大采样频率(Hz)<br />
      200
      传感器谐振频率(Hz)
      应用范围:
      • XW-GS1830/ XW-IMU5100:高精度控制、航空航天、国防。

      典型器件规格(PDF Datasheet)

      TDK InvenSense(应美盛)

      器件类型
      器件名称
      Datasheet PDF
      Datasheet Link
      3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计<br />
      MPU6000
      MPU6050
      MPU6500
      ICM20689
      ICM42688
      ICM45686
      ICM40627
      ICM40609
      ICG20660
      IIM46230
      3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 <br />+3 轴磁力计
      MPU9250
      3 轴陀螺仪
      IAM20380
      3 轴加速度计
      IIM42351

      ST(意法半导体)

      器件类型
      器件名称
      Datasheet PDF
      Datasheet Link
      3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计<br />
      LSM6DS3TR-C
      LSM6DSO
      LSM6DSL
      ASM330LHH
      ISM330DLC
      3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 <br />+3 轴磁力计
      LSM9DS0
      2 轴加速度计
      IIS2ICLX
      3 轴加速度计
      AIS2IH
      2 轴陀螺仪
      L2G2IS
      3 轴陀螺仪
      A3G4250D

      Bosch(博世)

      器件类型
      器件名称
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      3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计
      BMI088
      BMI055
      BMI323

      ADI

      器件类型
      器件名称
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      Datasheet Link
      3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计
      ADIS16365
      ADIS16375
      ADIS16446
      ADIS16470
      ADIS16475
      ADIS16489
      ADIS16495
      ADIS16497
      ADIS16507
      ADXC1500
      1 轴加速度计(模拟输出)<br />
      ADXL103
      ADXL1002
      1 轴加速度计(数字输出)
      ADIS16209
      2 轴加速度计(模拟输出)
      ADXL203/AD22037/AD22038
      ADXL206
      2 轴加速度计(数字输出)<br />
      ADXL213
      ADIS16006
      3 轴加速度计(数字输出)<br />
      ADXL314
      ADXL345
      ADXL367
      ADIS16240
      3 轴加速度计(模拟输出)<br />
      ADXL316
      ADXL354
      1 轴陀螺仪(数字输出)<br />
      ADIS16260
      ADIS16060
      ADIS16137
      1 轴陀螺仪(模拟输出)
      ADXRS642
      2 轴陀螺仪
      ADXRS290

      NXP

      器件类型
      器件名称
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      3 轴加速度计
      FXLS8971CF
      FXLS8961AF
      MMA8451Q

      Honeywell

      器件类型
      器件名称
      Datasheet PDF
      Datasheet Link
      3 轴陀螺仪<br />+3 轴加速度计
      HG1125/HG1126
      HG5700

      QST(上海矽睿)

      器件类型
      器件名称
      Datasheet PDF
      Datasheet Link
      3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计 <br />+3 轴磁力计
      QMI8658
      [13-52-25 QMI8658A Datasheet Rev A.pdf](assets/13-52-25 QMI8658A Datasheet Rev A-20230228151757-n5eilfx.pdf)
      3 轴陀螺仪 +3 轴加速度计
      QMI8610
      [QMI8610 Datasheet1.pdf](assets/QMI8610 Datasheet1-20230228151823-sgs7dq8.pdf)
      3 轴加速度计
      QMA6100P

      器件规格总表

      [MEMS IMU器件选型表.xlsx](assets/MEMS IMU器件选型表-20230306193127-u32ndms.xlsx)

      参考内容

       
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